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1. (WO2018203282) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
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公布号: WO/2018/203282 国际申请号: PCT/IB2018/053093
公布日: 08.11.2018 国际申请日: 03.05.2018
国际专利分类:
G01N 21/47 (2006.01)
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
21
利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
47
散射,即漫反射
申请人:
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US/US]; 3M Center Post Office Box 33427 Saint Paul, MN 55133-3427, US
发明人:
ATKINSON, Matthew R. C.; US
代理人:
ALLEN, Gregory D.,; US
BLANK, Colene H.,; US
HARTS, Dean M. ,; US
LEVINSON, Eric D.,; US
MAKI, Eloise J.,; US
NOWAK, Sandra K.,; US
OLSON, Peter L.,; US
RHODES, Kevin H.; US
RINGSRED, Ted K.,; US
优先权数据:
62/502,00105.05.2017US
标题 (EN) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
(FR) SYSTÈME DE DIFFUSOMÉTRIE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
摘要:
(EN) Microscatterometry system for generating an angularly resolved scattered light profile from the collected data.
(FR) L'invention concerne un système de microdiffusiométrie permettant de générer un profil de lumière diffusée à résolution angulaire à partir des données collectées.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)