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1. (WO2018179890) INSPECTION SYSTEM, WAFER MAP DISPLAY, WAFER MAP DISPLAY METHOD, AND COMPUTER PROGRAM
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公布号: WO/2018/179890 国际申请号: PCT/JP2018/004408
公布日: 04.10.2018 国际申请日: 08.02.2018
国际专利分类:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/26 (2014.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
66
在制造或处理过程中的测试或测量
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
R
测量电变量;测量磁变量
31
电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置
26
单个半导体器件的测试
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
R
测量电变量;测量磁变量
31
电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置
28
电路的测试,例如用信号故障寻测器
申请人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
发明人:
内田 伸 UCHIDA Shin; JP
加賀美 徹也 KAGAMI Tetsuya; JP
代理人:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
优先权数据:
2017-06704730.03.2017JP
标题 (EN) INSPECTION SYSTEM, WAFER MAP DISPLAY, WAFER MAP DISPLAY METHOD, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION, AFFICHAGE DE CARTE DE TRANCHE, PROCÉDÉ D'AFFICHAGE DE CARTE DE TRANCHE ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム
摘要:
(EN) An inspection system (100) is provided with a prober (200) and a tester (300). The tester (300) comprises: a plurality of tester module boards (33) on which a plurality of LSIs respectively corresponding to a plurality of devices under test (DUT) are mounted; a display unit (44) which displays a wafer map indicating inspection results of the plurality of DUTs and/or a self-diagnosis result of the tester (300); and a tester control unit (35) which includes a wafer map write application (60) for writing the wafer map displayed on the display unit (44). The wafer map write application (60) causes the inspection results and/or the self-diagnosis result to be displayed for each of the plurality of DUTs in a stepwise manner. In the wafer map, the plurality of DUTs are respectively tied with the plurality of LSIs mounted on the plurality of tester module boards (33).
(FR) L'invention concerne un système d'inspection (100) comprenant une sonde (200) et un testeur (300). Le testeur (300) comprend : une pluralité de cartes de module de testeur (33) sur lesquelles une pluralité de LSI correspondant respectivement à une pluralité de dispositifs en cours de test (DUT) sont montés; une unité d'affichage (44) qui affiche une carte de tranche indiquant des résultats d'inspection de la pluralité de DUT et/ou un résultat d'auto-diagnostic du testeur (300); et une unité de commande de testeur (35) qui comprend une application d'écriture de carte de tranche (60) pour écrire la carte de tranche affichée sur l'unité d'affichage (44). L'application d'écriture de carte de tranche (60) fait que les résultats d'inspection et/ou le résultat d'auto-diagnostic sont affichés pour chacun de la pluralité de DUT pas à pas. Dans la carte de tranche, la pluralité de DUT est respectivement liée à la pluralité de LSI montés sur la pluralité de cartes de module de testeur (33).
(JA) 検査システム(100)は、プローバ(200)と、テスタ(300)とを備える。テスタ(300)は、複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボード(33)と、複数のDUTの検査結果および/またはテスタ(300)の自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部(44)、および表示部(44)に表示するウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーション(60)を有するテスタ制御部(35)とを有し、ウエハマップ描画アプリケーション(60)は、検査結果および/または自己診断結果を複数のDUTの各々に段階的に表示するとともに、ウエハマップにおける複数のDUTの各々が、複数のテスタモジュールボード(33)に搭載された複数のLSIの各々に紐付けられている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)