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1. (WO2018102470) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
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公布号: WO/2018/102470 国际申请号: PCT/US2017/063810
公布日: 07.06.2018 国际申请日: 29.11.2017
国际专利分类:
G01N 21/47 (2006.01) ,B82Y 35/00 (2011.01)
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
21
利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
47
散射,即漫反射
B 作业;运输
82
超微技术
Y
纳米结构的特定用途或应用;纳米结构的测量或分析;纳米结构的制造或处理
35
纳米结构的测量或分析方法或设备
申请人:
ANASYS INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; 325 Chapala Street Santa Barbara, CA 93101, US
发明人:
PRATER, Craig; US
KJOLLER, Kevin; US
SHETTY, Roshan; US
代理人:
PEDERSEN, Brad, D.; US
CHADWICK, Eric, H.; US
BIASCO, Tye; US
BRUZZONE, Daniel, L.; US
BURGESS, Daidre, L.; US
优先权数据:
62/427,67129.11.2016US
标题 (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE SPECTROSCOPIE INFRAROUGE POUR MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE EN IMAGERIE CHIMIQUE
摘要:
(EN) Methods and apparatus for performing spectroscopy from the scale of nanometers to millimeters and imaging techniques including atomic force microscopy, infrared spectroscopy, confocal microscopy, Raman spectroscopy and mass spectrometry. For infrared spectroscopy, a sample is illuminated with infrared light and the resulting sample distortion is read out with either a focused UV/visible light beam and/or AFM tip. The combination of both techniques provides a rapid and large area survey scan with the UV /visible light and a high resolution measurement with the AFM tip. The methods and apparatus also include the ability to analyze light reflected/scattered from the sample via a Raman spectrometer for complementary analysis by Raman spectroscopy.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil pour effectuer une spectroscopie à une échelle allant des nanomètres aux millimètres et des techniques d'imagerie comprenant la microscopie à force atomique, la spectroscopie infrarouge, la microscopie confocale, la spectroscopie Raman et la spectrométrie de masse. Pour la spectroscopie infrarouge, un échantillon est éclairé à l'aide d'une lumière infrarouge et la distorsion d'échantillon obtenue est lue soit avec un faisceau de lumière UV/visible focalisé, et/ou une pointe de sonde AFM. La combinaison des deux techniques permet un balayage d'observation rapide et d'une grande surface avec la lumière UV/visible et une mesure de résolution élevée avec la pointe de sonde AFM. Les procédés et l'appareil selon l'invention englobent également la capacité d'analyser la lumière réfléchie/diffusée à partir de l'échantillon par l'intermédiaire d'un spectromètre Raman pour une analyse complémentaire par spectroscopie Raman.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)