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1. (WO2017003959) TECHNIQUES FOR FILAMENT LOCALIZATION, EDGE EFFECT REDUCTION, AND FORMING/SWITCHING VOLTAGE REDUCTION IN RRAM DEVICES
国际局存档的最新著录项目数据

公布号: WO/2017/003959 国际申请号: PCT/US2016/039681
公布日: 05.01.2017 国际申请日: 27.06.2016
国际专利分类:
H01L 21/76 (2006.01) ,H01L 23/48 (2006.01) ,H01L 23/52 (2006.01) ,H01L 29/40 (2006.01) ,H01L 45/00 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
71
限定在组H01L 21/70中的器件的特殊部件的制造
76
组件间隔离区的制作
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
23
半导体或其他固态器件的零部件
48
用于向或自处于工作中的固态物体通电的装置,例如引线或接线端装置
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
23
半导体或其他固态器件的零部件
52
用于在处于工作中的器件内部从一个组件向另一个组件通电的装置
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
29
专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件
40
按其电极特征区分的
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
45
无电位跃变势垒或表面势垒的,专门适用于整流、放大、振荡或切换的固态器件,例如介电三极管;奥氏效应器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备
申请人:
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, California 95054, US
发明人:
PILLARISETTY, Ravi; US
MAJHI, Prashant; US
SHAH, Uday; US
MUKHERJEE, Niloy; US
KARPOV, Elijah; US
DOYLE, Brian; US
CHAU, Robert; US
代理人:
PARKER, Wesley E.; US
优先权数据:
14/752,93427.06.2015US
标题 (EN) TECHNIQUES FOR FILAMENT LOCALIZATION, EDGE EFFECT REDUCTION, AND FORMING/SWITCHING VOLTAGE REDUCTION IN RRAM DEVICES
(FR) TECHNIQUES DE LOCALISATION DE FILAMENTS, RÉDUCTION DE L'EFFET DE BORD, ET RÉDUCTION DE LA TENSION D'ÉCRITURE/COMMUTATION DANS LES DISPOSITIFS RRAM
摘要:
(EN) The present disclosure provides a system and method for forming a resistive random access memory (RRAM) device. A RRAM device consistent with the present disclosure includes a substrate and a first electrode disposed thereon. The RRAM device includes a second electrode disposed over the first electrode and a RRAM dielectric layer disposed between the first electrode and the second electrode. The RRAM dielectric layer has a recess at a top center portion at the interface between the second electrode and the RRAM dielectric layer.
(FR) La présente invention concerne un système et un procédé pour former un dispositif de mémoire vive résistive (RRAM). Un dispositif RRAM conforme à la présente invention comprend un substrat et une première électrode disposée sur celui-ci. Le dispositif RRAM comprend une seconde électrode disposée sur la première électrode et une couche diélectrique RRAM disposée entre la première électrode et la seconde électrode. La couche diélectrique RRAM présente un évidement au niveau d'une partie centrale supérieure à l'interface entre la seconde électrode et la couche diélectrique RRAM.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)
也发表为:
CN107636822KR1020180022835EP3320556