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1. (WO2017001010) SELF-LOCKING HOLDER FOR SUBSTRATES
国际局存档的最新著录项目数据

公布号: WO/2017/001010 国际申请号: PCT/EP2015/065011
公布日: 05.01.2017 国际申请日: 01.07.2015
国际专利分类:
C23C 14/50 (2006.01) ,C03C 17/00 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01)
C 化学;冶金
23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C
金属材料的表面处理
14
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
22
以镀覆工艺为特征的
50
基座
C 化学;冶金
03
玻璃;矿棉或渣棉
C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
17
纤维或丝之外玻璃,例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C 化学;冶金
23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C
金属材料的表面处理
16
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积(CVD)工艺
44
以镀覆方法为特征的
458
在反应室中支承基体的方法
申请人:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
BRÜNING, Andre [DE/DE]; DE (US)
LINDENBERG, Ralph [DE/DE]; DE (US)
发明人:
BRÜNING, Andre; DE
LINDENBERG, Ralph; DE
代理人:
ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
优先权数据:
标题 (EN) SELF-LOCKING HOLDER FOR SUBSTRATES
(FR) SUPPORT AUTOBLOQUANT POUR SUBSTRATS
摘要:
(EN) A holder (200) configured to be attached to a carrier body (160) for holding a substrate (101) is described. The holder (200) includes a first portion (210) having a first inclined surface (212), the first portion (210) being configured to be attached to the carrier body (160), a second portion (220), the second portion (220) being configured to be movable relative to the first portion (210) in at least one direction (X). The first inclined surface (212) is inclined with respect to a substrate (101) to be loaded by a first angle (α).
(FR) La présente invention concerne un support (200) configuré pour être fixé à un corps de support (160) pour maintenir un substrat (101). Le support (200) comprend une première partie (210) ayant une première surface inclinée (212), la première partie (210) étant configurée pour être fixée au corps de support (160), une deuxième partie (220), la deuxième partie (220) étant configurée pour être mobile par rapport à la première partie (210) dans au moins une direction (X). La première surface inclinée (212) est inclinée par rapport à un substrat (101) pour être chargée à un premier angle (α).
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)
也发表为:
CN107810288KR1020180022989