WO2013162792 ELECTROSTATIC CHUCK HAVING REDUCED POWER LOSS

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公布号：	WO/2013/162792	国际申请号：	PCT/US2013/033001
公布日：	31.10.2013	国际申请日：	19.03.2013

国际专利分类：

H01L 21/683 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01) ,B23Q 3/15 (2006.01) ,C04B 35/00 (2006.01)

申请人：

MAKHRATCHEV, Konstantin [US/US]; US (US)

SUN, Jennifer, Y. [US/US]; US (US)

APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)

发明人：

MAKHRATCHEV, Konstantin; US

SUN, Jennifer, Y.; US

代理人：

PATTERSON, B., Todd; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046, US

优先权数据：

13/766,208		13.02.2013		US
61/638,871		26.04.2012		US

标题

(EN) ELECTROSTATIC CHUCK HAVING REDUCED POWER LOSS
(FR) SUPPORT ÉLECTROSTATIQUE AYANT UNE PERTE DE PUISSANCE RÉDUITE

摘要：

(EN) Embodiments of the invention generally relate to an electrostatic chuck having reduced power loss, and methods and apparatus for reducing power loss in an electrostatic chuck, as well as methods for testing and manufacture thereof. In one embodiment, an electrostatic chuck is provided. The electrostatic chuck includes a conductive base, and a ceramic body disposed on the conductive base, the ceramic body comprising an electrode and one or more heating elements embedded therein, wherein the ceramic body comprises a dissipation factor of about 0.11 to about 0.16 and a capacitance of about 750 picoFarads to about 950 picoFarads between the electrode and the one or more heating elements.
(FR) Des modes de réalisation de l'invention concernent généralement un support électrostatique ayant une perte de puissance réduite, et des procédés et un appareil permettant de réduire la perte de puissance dans un support électrostatique, ainsi que ses procédés d'essai et de fabrication. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un support électrostatique. Le support électrostatique comprend une base conductrice, et un corps céramique disposé sur la base conductrice, le corps céramique comprenant une électrode et un ou plusieurs éléments chauffants incorporés, le corps céramique ayant un facteur de dissipation compris entre environ 0,11 et environ 0,16 et une capacité comprise entre environ 750 picofarads et environ 950 picofarads entre l'électrode et le(s) élément(s) chauffant(s).

指定国：

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)

公布语言：

英语 (EN)

申请语言：

英语 (EN)

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