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1. (WO2013162792) ELECTROSTATIC CHUCK HAVING REDUCED POWER LOSS
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2013/162792 国际申请号: PCT/US2013/033001
公布日: 31.10.2013 国际申请日: 19.03.2013
国际专利分类:
H01L 21/683 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01) ,B23Q 3/15 (2006.01) ,C04B 35/00 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
683
用于支承或夹紧的
H 电学
02
发电、变电或配电
N
其他类目不包含的电机
13
应用静电吸引力,例如Johnson Rahbek效应的离合器或保持装置
B 作业;运输
23
机床;其他类目中不包括的金属加工
Q
机床的零件、部件或附件,如仿形装置或控制装置;以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床;不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
3
工件或刀具的夹固,支承,定位装置,一般可从机床上拆下的
15
用磁力或电力直接作用在工件上夹固工件的装置
C 化学;冶金
04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
35
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
申请人:
MAKHRATCHEV, Konstantin [US/US]; US (US)
SUN, Jennifer, Y. [US/US]; US (US)
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)
发明人:
MAKHRATCHEV, Konstantin; US
SUN, Jennifer, Y.; US
代理人:
PATTERSON, B., Todd; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046, US
优先权数据:
13/766,20813.02.2013US
61/638,87126.04.2012US
标题 (EN) ELECTROSTATIC CHUCK HAVING REDUCED POWER LOSS
(FR) SUPPORT ÉLECTROSTATIQUE AYANT UNE PERTE DE PUISSANCE RÉDUITE
摘要:
(EN) Embodiments of the invention generally relate to an electrostatic chuck having reduced power loss, and methods and apparatus for reducing power loss in an electrostatic chuck, as well as methods for testing and manufacture thereof. In one embodiment, an electrostatic chuck is provided. The electrostatic chuck includes a conductive base, and a ceramic body disposed on the conductive base, the ceramic body comprising an electrode and one or more heating elements embedded therein, wherein the ceramic body comprises a dissipation factor of about 0.11 to about 0.16 and a capacitance of about 750 picoFarads to about 950 picoFarads between the electrode and the one or more heating elements.
(FR) Des modes de réalisation de l'invention concernent généralement un support électrostatique ayant une perte de puissance réduite, et des procédés et un appareil permettant de réduire la perte de puissance dans un support électrostatique, ainsi que ses procédés d'essai et de fabrication. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un support électrostatique. Le support électrostatique comprend une base conductrice, et un corps céramique disposé sur la base conductrice, le corps céramique comprenant une électrode et un ou plusieurs éléments chauffants incorporés, le corps céramique ayant un facteur de dissipation compris entre environ 0,11 et environ 0,16 et une capacité comprise entre environ 750 picofarads et environ 950 picofarads entre l'électrode et le(s) élément(s) chauffant(s).
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)