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1. (WO2013149961) PARTICULATE CONTAMINATION MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
国际局存档的最新著录项目数据

公布号: WO/2013/149961 国际申请号: PCT/EP2013/056794
公布日: 10.10.2013 国际申请日: 28.03.2013
国际专利分类:
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
7
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
20
曝光及其设备
申请人:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft, NL
发明人:
DE JONG, Anthonius; NL
VAN DER DONCK, Jacques; NL
代理人:
SLENDERS, Peter; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
优先权数据:
61/619,20902.04.2012US
标题 (EN) PARTICULATE CONTAMINATION MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE DE CONTAMINATION DE MATIÈRE PARTICULAIRE
摘要:
(EN) A particulate contamination measurement method and apparatus are discussed. The method, for example, comprises pressing a measurement surface (5) of a polyurethane elastomer (2) against a surface (7) to be measured, removing the polyurethane elastomer from the surface without leaving residues, then using an optical apparatus (11) to detect particles (8) which have been removed by the polyurethane elastomer from the surface and which have become attached to the polyurethane elastomer.
(FR) La présente invention porte sur un procédé et un appareil de mesure de contamination de matière particulaire. Le procédé, par exemple, comprend le pressage d'une surface de mesure (5) d'un élastomère de polyuréthane (2) contre une surface (7) à mesurer, le retrait de l'élastomère de polyuréthane de la surface sans laisser de résidus, puis l'utilisation d'un appareil optique (11) pour détecter des particules (8) qui ont été retirées par l'élastomère de polyuréthane de la surface et qui sont devenues attachées à l'élastomère de polyuréthane.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)
也发表为:
EP2834709US20150055127KR1020150013483CN104204954JP6282260JP2015517101