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1. (WO2006017163) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2006/017163 国际申请号: PCT/US2005/024237
公布日: 16.02.2006 国际申请日: 09.07.2005
国际专利分类:
F26B 19/00 (2006.01) ,F27D 11/00 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
26
DRYING
B
DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
19
Machines or apparatus for drying solid materials or objects not covered by groups F26B9/-F26B17/134
F 机械工程;照明;加热;武器;爆破
27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
11
炉内或炉上电热元件的配置
申请人:
BAYNE, Christopher, J. [GB/US]; US (UsOnly)
DIAMOND SEMICONDUCTOR, INC. [US/US]; 16548 Oleander Avenue Los Gatos, CA 95032, US (AllExceptUS)
发明人:
BAYNE, Christopher, J.; US
代理人:
DORT, David, Bogart; Dort Close IP, PLLC Box 66148 Washington, DC 20035, US
优先权数据:
10/889,30512.07.2004US
11/090,91726.03.2005US
标题 (EN) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
(FR) FOUR DE TRAITEMENT SEMI-TOROIDAL POLYVALENT A ECHANGE DE PLAQUETTE AUTOMATIQUE ET RECONFIGURABLE
摘要:
(EN) The present invention comprises a fully automated, fabrication compliant furnace with the advantages of the horizontal most of the advantages of the vertical furnace. One embodiment of the present invention is that it implements a multi-degree motion robot arm to move wafers from a loading area to a WIP station where the wafer are then loaded into wafer boats on a rotating cantilever system or directly onto a specialized and reconfigurable paddle designed to hold wafers: The wafers may be loaded in the horizontal processing position as well as the vertical processing position. Multiple levels of the semi-toroidal horizontal processors allow for multiple batches of wafers to be loaded, processed, cooled, and unloaded by the robot arm. The present invention reduces the footprint of the traditional horizontal or vertical furnaces, increases capacity and throughput, and allows for direct tube transfer.
(FR) L'invention concerne un four conforme entièrement automatique, ayant les avantages du four horizontal et la plupart des avantages du four vertical. Selon une variante, on décrit un bras de robot à mouvement sur plusieurs degrés pour le déplacement de plaquettes depuis une zone de chargement vers un poste de passage temporaire en cours de production (WIP), où la plaquette est ensuite chargée dans des porte-plaquettes sur un système en porte-à-faux rotatif ou directement sur un support de plaquettes spécialisé et reconfigurable. On peut charger les plaquettes en position de traitement horizontale et en position de traitement verticale. Les niveaux multiples des processeurs horizontaux semi-toroïdaux permettent le chargement, le traitement, le refroidissement et le déchargement de plusieurs lots de plaquettes, via le bras de robot. On réduit ainsi l'empreinte des fours horizontaux et verticaux classiques, en augmentant la capacité et le débit, et en permettant un transfert de tube direct.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)