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1. (WO2006010128) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2006/010128 国际申请号: PCT/US2005/024580
公布日: 26.01.2006 国际申请日: 11.07.2005
第2章国际初步审查要求书已提交: 07.02.2006
国际专利分类:
G06F 19/00 (2006.01) ,G06F 11/30 (2006.01) ,G01N 37/00 (2006.01)
G PHYSICS
06
计算;推算;计数
F
电数字数据处理
19
专门适用于特定应用的数字计算或数据处理的设备或方法
G PHYSICS
06
计算;推算;计数
F
电数字数据处理
11
错误检测;错误校正;监控
30
监控
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
37
不包含在本小类其他组中的细目
申请人:
ONWAFER TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 6591.A Sierra Lane Dublin, CA 94568, US (AllExceptUS)
发明人:
MACDONALD, Paul, D.; US
KRUGER, Michiel; US
WELCH, Michael; US
FREED, Mason, L.; US
SPANOS, Costas, J.; US
代理人:
WILLIAMS, Larry; 3645 Montgomery Drive Santa Rosa, CA 95405, US
优先权数据:
60/586,89210.07.2004US
标题 (EN) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
(FR) PROCEDE ET APPAREILS DE MAINTENANCE, DE DIAGNOSTIC ET D'OPTIMISATION DE PROCEDES
摘要:
(EN) A method and system (50) for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece. System 50 includes a design experiments module (60), a perturbation model builder (70) and a data analysis module (75).
(FR) L'invention porte, dans un aspect, sur un procédé de surveillance de procédés, d'optimisation de procédés, et de diagnostic de problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement permettant de traiter une pièce à travailler. Dans un autre aspect, l'invention concerne un système configuré pour surveiller des procédés, optimiser des procédés et diagnostiquer des problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement servant à traiter une pièce à travailler. Un mode de réalisation de l'invention comprend un programme logiciel qui peut être installé dans un ordinateur afin d'optimiser la performance d'un instrument de traitement d'une pièce à travailler.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)