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1. (WO2002001035) DUAL PENDULUM VALVE ASSEMBLY
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2002/001035 国际申请号: PCT/US2001/019765
公布日: 03.01.2002 国际申请日: 21.06.2001
第2章国际初步审查要求书已提交: 03.01.2002
国际专利分类:
F16K 3/06 (2006.01) ,F16K 3/10 (2006.01)
F 机械工程;照明;加热;武器;爆破
16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
3
闸门阀或滑阀,即带闭合元件的切断装置,闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
02
带有平的密封面;其所用填料
04
带有转动式闭合元件
06
以闭合板的形式配置在进出通道之间
F 机械工程;照明;加热;武器;爆破
16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
3
闸门阀或滑阀,即带闭合元件的切断装置,闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
02
带有平的密封面;其所用填料
04
带有转动式闭合元件
10
带有把密封面分开或压在一起的特殊装置
申请人:
MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Six Shattuck Road Andover, MA 01810, US
发明人:
MAHER, Joseph, Ashurst, Jr.; US
代理人:
KUSMER, Toby, H. ; McDermott, Will & Emery 28 State Street Boston, MA 02109, US
优先权数据:
09/606,38228.06.2000US
标题 (EN) DUAL PENDULUM VALVE ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE VALVE A DEUX PENDULES
摘要:
(EN) A dual pendulum valve assembly (100) including a housing (112) having an interior space (14) and first and second openings (22, 24) through which fluid can enter and exit the interior space; valve seats disposed in the interior space around the edges of the openings; and first and second pendulum valves (16, 116) for opening and closing, respectively, the first and second openings. Each pendulum valve is independently movable and includes a valve body (26, 126) mounted relative to the housing so that the valve body is movable between a completely opened position wherein fluid is allowed to pass through its respective opening and a completely closed position wherein the valve body seals the opening so that fluid can not pass therethrough. Each pendulum valve also includes a shaft fixedly (28, 128) coupled to the valve body through at least one pivot arm (30, 130) and at least partially mounted within the housing so that the valve body can rotate about a longitudinal axis (32) of the shaft between a first angular position where the first valve body is in the completely opened position and a second angular position where the valve body is substantially axially aligned with its respective opening, and move substantially parallel to the longitudinal axis of the shaft, so that the valve body can move between the second angular position and the completely closed position as the pendulum valve continues to rotate. The present disclosure also provides a method of precisely controlling vacuum pressure within a process chamber of a semi-conductor wafer fabricator.
(FR) La présente invention concerne un ensemble valve à deux pendules (100) comportant un logement (112) dont l'espace intérieur (14) est pourvu de première et seconde ouvertures (22, 24) qui permettent au fluide d'entrer et de sortir de l'espace intérieur; des sièges de valve montés dans l'espace intérieur autour des bords des ouvertures; et des première et seconde valves à pendule (16, 116) servant à ouvrir et fermer, respectivement, les première et seconde ouvertures. Chaque valve à pendule est individuellement mobile et comprend une structure de valve (26, 126) montée par rapport au logement, de sorte que la structure de valve soit mobile entre une position de pleine ouverture dans laquelle le fluide peut traverser son ouverture, et une position de fermeture complète dans laquelle cette structure ferme hermétiquement l'ouverture pour empêcher le passage du fluide. Chaque valve à pendule comprend également une tige (28, 128) couplée fermement à la structure de la valve via au moins un bras d'articulation (30, 130), et montée au moins en partie dans le logement de manière à ce que la structure de la valve puisse pivoter autour d'un axe longitudinal (32) de la tige, entre une première position angulaire dans laquelle la première structure de valve est dans sa position de pleine ouverture, et une seconde position angulaire dans laquelle la structure de la valve est sensiblement axialement alignée sur son ouverture, et se déplace sensiblement parallèlement à l'axe longitudinal de la tige, de sorte que la structure de la valve puisse se déplacer entre la seconde position angulaire position et la position de fermeture complète alors que la valve à pendule continue de pivoter. Par ailleurs, cette invention concerne un procédé qui permet de commander avec précision la pression à vide dans une chambre de traitement d'un dispositif de fabrication de tranche de semiconducteur.
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指定国: DE, GB, JP
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)