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1. (WO1999054784) FREE-FORM NANOFABRICATION USING MULTI-PHOTON EXCITATION
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/1999/054784 国际申请号: PCT/US1999/008805
公布日: 28.10.1999 国际申请日: 21.04.1999
第2章国际初步审查要求书已提交: 16.11.1999
国际专利分类:
G03F 7/038 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
7
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
004
感光材料
038
高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的
G PHYSICS
03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
7
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
20
曝光及其设备
申请人:
UNIVERSITY OF CONNECTICUT [US/US]; 263 Farmington Avenue MC5355 Farmington, CT 06030-5355, US
发明人:
GOODMAN, Steven, L.; US
CAMPAGNOLA, Paul; US
代理人:
REIMER, Leah, M.; Cantor Colburn LLP 55 Griffin Road South Bloomfield, CT 06002, US
优先权数据:
60/082,57521.04.1998US
60/112,79718.12.1998US
标题 (EN) FREE-FORM NANOFABRICATION USING MULTI-PHOTON EXCITATION
(FR) NANOFABRICATION A STRUCTURE LIBRE UTILISANT UNE EXCITATION MULTIPHOTONIQUE
摘要:
(EN) A method and apparatus wherein small, two- or three-dimensional structures are formed by multiple-photon-absorbed photopolymerization and/or cross-linking of a precursor composition, that is, photopolymerization using multi-photon excitation. Use of multi-photon excitation allows fabrication of structures and structural features having at least one dimension of less than about 1 micron, preferably less than about 500 nm, more preferably less than about 250 nm, and most preferably of less than about 100 nm, in bulk phase as well as in solution, and from a wide variety of organic and inorganic precursor subunits, including synthetic polymers and biological polymers such as proteins, lipids, oligonucleotides, and the like.
(FR) On décrit un procédé et un système dans lequels des structures bidimensionnelles ou tridimensionnelles sont formées par photopolymérisation par absorption multiphotonique et/ou par réticulation d'une composition précurseur, c'est-à-dire une photopolymérisation mettant en oeuvre une excitation multiphotonique. La mise en oeuvre d'une excitation multiphotonique permet de fabriquer, à partir d'un grand nombre de sous-unités précurseurs organiques ou inorganiques (y compris des polymères synthétiques et des polymères biologiques tels que des protéines, des lipides, des oligonucléotides, etc.), des structures et des éléments de structure ayant au moins une dimension inférieure à environ un micron, de préférence inférieure à environ 500 nm, ou mieux, inférieure à environ 250 nm, ou plus idéalement, une dimension inférieure à 100 nm, aussi bien en phase massique qu'en solution.
指定国: CA, JP
欧洲专利局 (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)