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1. (KR1020160028428) PRESSURE-CONTROLLED WAFER CARRIER AND WAFER TRANSPORT SYSTEM
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청구의 범위
청구항 1
제 1 웨이퍼 프로세싱 툴에서 웨이퍼들을 운송하는 방법에 있어서,

상기 제 1 웨이퍼 프로세싱 툴은 제 1 압력을 내부에 가지는 에어록, 상기 에어록과 기체 연통하지만 상기 에어록과의 사이에 위치된 제 1 도어에 의해서 상기 에어록으로부터 격리될 수 있는 이송 모듈, 및 상기 이송 모듈과 기체 연통하지만 상기 이송 모듈과의 사이에 위치된 제 2 도어에 의해서 상기 이송 모듈로부터 격리될 수 있는 프로세스 챔버를 포함하고, 상기 이송 모듈 및 상기 프로세스 챔버는 각각 제 2 및 제 3의 미리 설정된 압력들을 내부에 가지며,상기 방법은,복수의 웨이퍼들을 내부에 수용하는 웨이퍼-반송 인클로저 내의 압력을 대기압과 상이한 미리 설정된 캐리어 압력으로 조정하는 단계;

상기 압력을 조정하는 단계 후에, 복수의 웨이퍼들을 내부에 수용하는 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 상기 미리 설정된 캐리어 압력에서 상기 에어록으로 운송하는 단계로서,

상기 웨이퍼-반송 인클로저는 인클로저 개구부 및 인클로저 도어 - 상기 복수의 웨이퍼들은 상기 인클로저 개구부 및 인클로저 도어를 통과하여 이송됨 - 를 구비하고, 상기 웨이퍼-반송 인클로저는 운송동안 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부에 상기 미리 설정된 캐리어 압력을 갖고 있는 것인, 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 운송하는 단계;

상기 웨이퍼-반송 인클로저에 배치된 센서-송신기에 의해서,

상기 웨이퍼-반송 인클로저의 운송 중에 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부의 실제 압력, 복수의 웨이퍼들의 수, 및 온도 중 적어도 하나를 무선으로 브로드캐스팅하는 단계;

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 상기 에어록과 도킹시키는 단계;

상기 에어록 내부의 제 1 압력을 상기 미리 설정된 캐리어 압력으로 변화시키는 단계;

상기 인클로저 도어를 개방하는 단계;

상기 에어록 및 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부의 캐리어 압력을 상기 제 2 압력으로 변화시키는 단계;

상기 제 1 도어를 개방하는 단계;

상기 복수의 웨이퍼들을 상기 웨이퍼-반송 인클로저로부터 상기 이송 모듈 내로 이송하는 단계;

상기 제 2 도어를 개방하는 단계; 및

프로세싱을 위해서,

상기 복수의 웨이퍼들을 상기 이송 모듈로부터 상기 프로세스 챔버 내로 이송하는 단계를 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 2
제 1 항에 있어서,

상기 프로세싱 이후에, 상기 복수의 웨이퍼들을 상기 프로세스 챔버로부터 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내로 역으로 이송하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 3
제 2 항에 있어서,

상기 복수의 웨이퍼들을 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내로 역으로 이송하는 단계 후에, 상기 캐리어 압력으로 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 충전하는(charging) 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 4
제 3 항에 있어서,

상기 캐리어 압력으로 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 충전하는 단계 이후에, 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 상기 에어록으로부터 언도킹시키는 단계; 및

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 제 2 웨이퍼 프로세싱 툴로 운송하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 5
삭제
청구항 6
제 1 항에 있어서,

상기 센서에 의해서 브로드캐스팅되는 실제 압력이 상기 캐리어 압력과 상이한 경우에, 상기 캐리어 압력으로 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 충전하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 7
제 1 항에 있어서,

상기 미리 설정된 캐리어 압력이 대기압 미만 또는 초과인, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 8
제 6 항에 있어서,

상기 캐리어 압력으로 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 충전하는 단계는,

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 정규의 운송 트랙(regular transport track)으로부터 측부 트랙(side track)으로 반출하는 단계;

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 측부 트랙 에어록으로 이동시키는 단계; 및

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 상기 캐리어 압력으로 충전하는 단계를 포함하는 것인, 웨이퍼 운송 방법.
청구항 9
웨이퍼를 운송하는 방법에 있어서,

복수의 웨이퍼들을 내부에 수용하는 웨이퍼-반송 인클로저 내의 압력을 대기압과 상이한 제1 압력으로 조정하는 단계;

상기 압력을 조정하는 단계 후에, 복수의 웨이퍼들을 내부에 수용하는 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 에어록으로 운송하는 단계로서,

상기 웨이퍼-반송 인클로저는 인클로저 개구부 및 인클로저 도어 - 상기 복수의 웨이퍼들은 상기 인클로저 개구부 및 인클로저 도어를 통과하여 이송됨 - 를 구비하고, 상기 웨이퍼-반송 인클로저는 운송동안 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부에 상기 제1 압력을 갖고 있는 것인, 상기 웨이퍼-반송 인클로저를 운송하는 단계;

상기 웨이퍼-반송 인클로저의 운송동안, 상기 웨이퍼-반송 인클로저에 배치된 센서/송신기에 의해 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부의 실제 압력을 무선으로 브로드캐스팅(broadcasting)하는 단계;

상기 웨이퍼-반송 인클로저를 제1 웨이퍼 프로세싱 툴의 에어록과 도킹시키는 단계;

에어록 내부의 툴 압력을 상기 제1 압력과 동일하게 변화시키는 단계;

상기 인클로저 도어를 개방하는 단계;

상기 에어록 및 상기 웨이퍼-반송 인클로저 내부의 압력을 제 2 압력으로 변화시키는 단계;

상기 제1 프로세싱 툴의 제 1 도어를 개방하는 단계; 및

프로세싱을 위해서,

상기 복수의 웨이퍼들을 상기 제1 도어를 통해 프로세스 챔버 내로 이송하는 단계를 포함하는, 웨이퍼 운송 방법.