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1. (EP2314734) Method of producing porous metal oxide films using template assisted electrostatic spray deposition

专利局 : 欧洲专利局 (EPO)
申请号: 09173505 申请日: 20.10.2009
公布号: 2314734 公布日: 27.04.2011
公布类型: A1
国际专利分类:
C23C 18/12
C 化学;冶金
23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C
金属材料的表面处理
18
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆;接触镀
02
热分解法
12
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
CPC:
C23C 18/1216
C23C 18/1241
C23C 18/1254
C23C 18/1279
C23C 18/1283
Y10T 428/24997
申请人: UNIV BERLIN TECH
发明人: PAUL BENJAMIN
SOKOLOV SERGEY
KRAEHNERT RALPH
优先权数据: 09173505 20.10.2009 EP
标题: (DE) Verfahren zur Herstellung poröser Metalloxidfilmen mittels vorlagenunterstützter elektrostatischer Sprayablagerung
(EN) Method of producing porous metal oxide films using template assisted electrostatic spray deposition
(FR) Procédé de production de films à oxyde métallique poreux utilisant un dépôt de pulvérisation électrostatique assisté
摘要: front page image
(EN) The present invention relates to a method of producing porous metal oxide films on a substrate using template assisted electrostatic spray deposition (ESD). Thereby it is possible to produce both mesoporous and macroporous films which have a predefined pore morphology. In addition hierarchically structured meso- and macroporous films can be produced. The present invention also concerns the produced porous films and their use in catalysis, power storage, sensing and compound separation.