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1. (WO2008121628) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
国际局存档的最新著录项目数据   

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公布号:    WO/2008/121628    国际申请号:    PCT/US2008/058171
公布日: 09.10.2008 国际申请日: 26.03.2008
国际专利分类:
H01L 21/66 (2006.01)
申请人: TEL EPION INC. [US/US]; 37 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US) (For All Designated States Except US).
CALIENDO, Steven [US/US]; (US) (For US Only).
HOFMEESTER, Nicolaus [NL/US]; (US) (For US Only)
发明人: CALIENDO, Steven; (US).
HOFMEESTER, Nicolaus; (US)
代理人: ALLEN, William, R., Ph.D.; Wood, Herron & Evans, L.L.P., 441 Vine Street, 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US)
优先权数据:
11/694,557 30.03.2007 US
标题 (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR LA CORRECTION D'IRRÉGULARITÉS SYSTÉMATIQUES AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX
摘要: front page image
(EN)Embodiments of an apparatus and methods for correcting systematic non- uniformities using a gas cluster ion beam (202) are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.
(FR)L'invention concerne, de manière générale, des modes de mise en oeuvre d'un appareil et de procédés permettant de corriger des irrégularités systématiques au moyen d'un faisceau d'ions d'amas gazeux (202). L'invention concerne d'autres modes de mise en oeuvre pouvant être décrits et revendiqués.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
公布语言: English (EN)
申请语言: English (EN)