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1. (WO2014083151) STATION AND METHOD FOR MEASURING PARTICULATE CONTAMINATION OF A TRANSPORT CHAMBER FOR CONVEYING AND ATMOSPHERICALLY STORING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
国际局存档的最新著录项目数据   

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公布号:    WO/2014/083151    国际申请号:    PCT/EP2013/075075
公布日: 05.06.2014 国际申请日: 29.11.2013
国际专利分类:
H01L 21/673 (2006.01)
申请人: ADIXEN VACUUM PRODUCTS [FR/FR]; 98 Avenue de Brogny F-74000 Annecy (FR)
发明人: THOVEX, Cindy; (FR).
BOUNOUAR, Julien; (FR).
FAVRE, Arnaud; (FR)
代理人: CROONENBROEK, Thomas; 11 Avenue des Tilleuls F-74200 Thonon Les Bains (FR)
优先权数据:
1261451 30.11.2012 FR
标题 (EN) STATION AND METHOD FOR MEASURING PARTICULATE CONTAMINATION OF A TRANSPORT CHAMBER FOR CONVEYING AND ATMOSPHERICALLY STORING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION EN PARTICULES D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS
摘要: front page image
(EN)The invention relates to a station for measuring particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates, said transport chamber including a rigid enclosure (2) provided with an opening and a removable door (3) that enables the opening to be closed. The measuring station comprises: a chamber (4) having a controlled environment, comprising at least one loading port (8) suitable for being coupled to the rigid enclosure (2) and also to the door (3) of the transport chamber such as to move the door (3) into the chamber (4) having a controlled environment and place the inside of the rigid enclosure (2) in communication with the inside of the chamber (4) having a controlled environment ; and a measurement module (5) comprising a unit (14) for measuring the particles, and an enclosure measurement interface (16) configured such as to be coupled to the rigid enclosure (2) transport chamber coupled to the chamber (4) having a controlled environment, instead of to the door (3). Said measurement station is characterized in that said enclosure measurement interface (16) comprises a measurement head projecting from a base of an enclosure measurement interface, having a first sampling opening (12) connected to the unit (14), for measuring the particles, and at least two injection nozzles (20) configured to direct a gas stream onto at least two separate places of the rigid enclosure (2) coupled to the chamber (4) having a controlled environment. The respective orientations of the injection nozzles (20) are stationary relative to the coupled rigid enclosure (2). The invention also relates to a method for measuring particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates.
(FR)L'invention concerne une station de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, ladite enceinte de transport comprenant une enveloppe rigide (2) munie d'une ouverture et une porte (3) amovible permettant d'obturer l'ouverture, la station de mesure comportant : - une chambre à environnement contrôlé (4) comportant au moins un port de chargement (8) susceptible de s'accoupler d'une part à l'enveloppe rigide (2) et d'autre part à la porte (3) de l'enceinte de transport, pour déplacer la porte (3) dans la chambre à environnement contrôlé (4) et mettre l'intérieur de l'enveloppe rigide (2) en communication avec l'intérieur de la chambre à environnement contrôlé (4), - un module de mesure (5) comportant une unité de mesure des particules (14) et une interface de mesure enveloppe (16) configurée pour s'accoupler à l'enveloppe rigide (2) d'enceinte de transport accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4) à la place de la porte (3), caractérisée en ce que ladite interface de mesure enveloppe (16) comporte une tête de mesure faisant saillie d'une base de l'interface de mesure enveloppe portant un premier orifice de prélèvement (12) raccordé à l'unité de mesure des particules (14) et au moins deux buses d'injection (20) configurées pour diriger un jet de gaz sur au moins deux endroits distincts de l'enveloppe rigide (2) accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4), les orientations respectives des buses d'injection (20) étant fixes par rapport à l'enveloppe rigide (2) accouplée. L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
公布语言: French (FR)
申请语言: French (FR)