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1. (WO2002019405) POLISHING DEVICE
国际局存档的最新著录项目数据   

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公布号:    WO/2002/019405    国际申请号:    PCT/JP2001/007323
公布日: 07.03.2002 国际申请日: 28.08.2001
第2章国际初步审查要求书已提交:    27.12.2001    
国际专利分类:
B24B 37/10 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
申请人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
SUGAYA, Isao [JP/JP]; (JP) (For US Only)
发明人: SUGAYA, Isao; (JP)
代理人: HOSOE, Toshiaki; Corpo Fuji 605 3-6, Nishikanagawa 1-Chome, Kanagawa-ku Yokohama-Shi, Kanagawa 221-0822 (JP)
优先权数据:
2000-260201 30.08.2000 JP
标题 (EN) POLISHING DEVICE
(FR) POLISSOIR
摘要: front page image
(EN)A polishing device, wherein, when a wafer (2) is polished, the guide face (5a) of a ring-shaped guide member (5) is raised by an air cylinder (15) to a position generally flush with the polishing surface of the wafer (2) held by a holding part (3) and the guide face (5a) supports the extruded portion of a polishing body (7) and, when the wafer (2) is loaded onto and unloaded from the loading part (3), the guide member (5) is moved downward by the air cylinder (15) to take shelter at a position not interfered with the holding part of a wafer transporting device, whereby, when a polished article is loaded and unloaded by using the transporting device having the holding part holding the outer peripheral part of the polished article, the polished article can be polished more uniformly and the wear of the polishing body can be reduced.
(FR)La présente invention concerne un polissoir tel que, pendant le polissage d'une plaquette (2), la face de guidage (5a) d'un élément de guidage de forme annulaire (5) se relève sous l'action d'un vérin pneumatique (15) jusqu'à venir généralement dans le plan de la surface de polissage de la plaquette (2) tenue par le porte-plaquette (3), la face de guidage (5a) servant de support à la partie extrudée d'un corps de polissage (7). En outre, au chargement et déchargement de la plaquette (2) par rapport au porte-plaquette (3), l'élément de guidage (5) s'abaisse sous l'action du vérin pneumatique (15) pour se réfugier en un point ne gênant pas le porte-plaquette du transporteur. Ainsi, une fois que la pièce a été chargée et déchargée par transporteur, le porte-plaquette tenant la pièce polie par son pourtour, cette pièce polie peut être polie de façon plus uniforme, l'usure du corps de polissage pouvant être réduite.
指定国: CN, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
公布语言: Japanese (JA)
申请语言: Japanese (JA)