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1. (WO2009052805) NOZZLE ELEMENT, FILTER ELEMENT AND/OR POSITIONING ELEMENT
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2009/052805 国际申请号: PCT/DE2008/001732
公布日: 30.04.2009 国际申请日: 21.10.2008
国际专利分类:
B81C 1/00 (2006.01)
B 作业;运输
81
微观结构技术
C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
1
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
申请人:
WEBER, Lutz [DE/DE]; DE (UsOnly)
THINXXS MICROTECHNOLOGY AG [DE/DE]; Amerikastrasse 21 66482 Zweibrücken, DE (AllExceptUS)
发明人:
WEBER, Lutz; DE
代理人:
BERNHARDT, Reinhold; Kobenhüttenweg 43 66123 Saarbrücken, DE
优先权数据:
10 2007 051 487.727.10.2007DE
标题 (EN) NOZZLE ELEMENT, FILTER ELEMENT AND/OR POSITIONING ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT BUSE, FILTRE ET/OU POUR LE POSITIONNEMENT
(DE) DÜSEN-, FILTER- ODER/UND POSITIONIERELEMENT
摘要:
(EN) The invention relates to a nozzle element, filter element and/or positioning element with at least one opening (3) serving as a nozzle opening, filter opening or positioning opening, and to a method for producing such an element. According to the invention, the inner wall of the opening (3) is formed by a coating (2) on a basic body (1) and the size of the opening cross section is determined by the thickness (d) of said coating.
(FR) L'invention concerne un élément buse, filtre et/ou pour le positionnement, comprenant au moins une ouverture (3) servant d'ouverture de buse, de filtre et/ou de positionnement. L'invention concerne également un procédé pour produire un tel élément. Selon l'invention, la paroi intérieure de l'ouverture (3) est formée par un revêtement (2) sur un corps de base (1) et la taille de la section d'ouverture est déterminée par l'épaisseur (d) de ce revêtement.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Düsen-, Filter- oder/und Positionierelement mit wenigstens einer als Düsen-, Filter- bzw. Positionieröffnung dienenden Öffnung (3), sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Elements. Gemäß der Erfindung ist die Innenwand der Öffnung (3) durch eine Beschichtung (2) auf einem Grundkörper (1) gebildet und die Größe des Öffnungsquerschnitts durch die Dicke (d) dieser Beschichtung bestimmt.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 德语 (DE)
申请语言: 德语 (DE)