Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019067885) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/067885 № международной заявки: PCT/US2018/053403
Дата публикации: 04.04.2019 Дата международной подачи: 28.09.2018
МПК:
H01J 37/32 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
J
Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
37
Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки
32
газонаполненные разрядные приборы
F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
16
Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
K
Клапаны; краны; задвижки; поплавки для приведения их в действие; вентиляционные устройства или устройства для аэрации
51
Прочие конструктивные элементы, узлы и детали, не характерные только для определенных типов клапанов, кранов или задвижек
02
специально предназначенные для высоковакуумных установок
Заявители:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Изобретатели:
RIORDON, Benjamin B.; US
CARLSON, Charles T.; US
WEBB, Aaron; US
WYKA, Gary; US
Агент:
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Дата приоритета:
62/565,91529.09.2017US
Название (EN) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
Реферат:
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device has a body with an inlet opening disposed at a first end coupled to a processing system component such as a remote plasma source and outlet openings, for example two, disposed at a second end which are coupled to a processing system component such as a process chamber. Flaps disposed within the body are actuatable to an open position from a closed position or to a closed position from an open position, to selectively allow or prevent passage of a fluid from the processing system component coupled to the isolation device to the other processing system component coupled thereto.
(FR) De manière générale, la présente divulgation concerne un dispositif d'isolement destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolement comprend un corps pourvu d'une ouverture d'admission ménagée à une première extrémité raccordée à un composant de système de traitement tel qu'une source de plasma à distance et d'ouvertures d'évacuation, par exemple deux, ménagées à une seconde extrémité qui sont raccordées à un composant de système de traitement tel qu'une chambre de traitement. Des clapets logés à l'intérieur du corps peuvent être actionnés jusqu'à une position ouverte à partir d'une position fermée ou jusqu'à une position fermée à partir d'une position ouverte, pour permettre ou empêcher sélectivement le passage d'un fluide entre le composant de système de traitement raccordé au dispositif d'isolement et l'autre composant de système de traitement raccordé à celui-ci.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)