Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019067575) MEMORY CELL WITH OXIDE CAP AND SPACER LAYER FOR PROTECTING A FLOATING GATE FROM A SOURCE IMPLANT
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/067575 № международной заявки: PCT/US2018/052900
Дата публикации: 04.04.2019 Дата международной подачи: 26.09.2018
МПК:
H01L 21/28 (2006.01) ,H01L 29/423 (2006.01) ,H01L 29/788 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
04
приборов, имеющих хотя бы один потенциальный барьер, на котором осуществляется скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например p-n-переход, обедненный слой, слой с повышенной концентрацией носителей
18
приборов, в которых полупроводниковые подложки содержат элементы четвертой группы периодической системы или соединения AIIIBV с примесями или без них, например материалы с легирующими добавками
28
изготовление электродов на полупроводниковых подложках с использованием способов и устройств, не предусмотренных в
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
29
Полупроводниковые приборы, специально предназначенные для выпрямления, усиления, генерирования или переключения и имеющие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер; конденсаторы или резисторы, содержащие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например имеющие обедненный слой с электронно-дырочным переходом или слой с повышенной концентрацией носителей; конструктивные элементы полупроводниковых подложек или электродов для них
40
электроды
41
характеризуемые формой, соответственными размерами или расположением
423
не пропускающие выпрямляемый, усиливаемый или переключаемый ток
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
29
Полупроводниковые приборы, специально предназначенные для выпрямления, усиления, генерирования или переключения и имеющие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер; конденсаторы или резисторы, содержащие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например имеющие обедненный слой с электронно-дырочным переходом или слой с повышенной концентрацией носителей; конструктивные элементы полупроводниковых подложек или электродов для них
66
типы полупроводниковых приборов
68
управляемые только электрическим током или потенциалом, приложенным к электроду, по которому не проходит выпрямляемый, усиливаемый или переключаемый ток
76
униполярные приборы
772
полевые транзисторы
78
с полевым эффектом, создаваемым при помощи изолированного затвора
788
с плавающим затвором
Заявители:
MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED [US/US]; 2355 West Chandler Blvd. Chandler, Arizona 85224-6199, US
Изобретатели:
HYMAS, Mel; US
CHEN, Bomy; US
STOM, Greg; US
WALLS, James; US
Агент:
SLAYDEN, Bruce W., II; US
Дата приоритета:
16/110,33023.08.2018US
62/564,17427.09.2017US
Название (EN) MEMORY CELL WITH OXIDE CAP AND SPACER LAYER FOR PROTECTING A FLOATING GATE FROM A SOURCE IMPLANT
(FR) CELLULE DE MÉMOIRE AVEC CAPUCHON D'OXYDE ET COUCHE D'ESPACEMENT POUR PROTÉGER UNE GRILLE FLOTTANTE D'UN IMPLANT SOURCE
Реферат:
(EN) A method of forming a memory cell, e.g., flash memory cell, may include (a) depositing polysilicon over a substrate, (b) depositing a mask over the polysilicon, (c) etching an opening in the mask to expose a surface of the polysilicon, (d) growing a floating gate oxide at the exposed polysilicon surface, (e) depositing additional oxide above the floating gate oxide, such that the floating gate oxide and additional oxide collectively define an oxide cap, (f) removing mask material adjacent the oxide cap, (g) etching away portions of the polysilicon uncovered by the oxide cap, wherein a remaining portion of the polysilicon defines a floating gate, and (h) depositing a spacer layer over the oxide cap and floating gate. The spacer layer may includes a shielding region aligned over at least one upwardly-pointing tip region of the floating gate, which helps protect such tip region(s) from a subsequent source implant process.
(FR) L'invention concerne un procédé de formation d'une cellule de mémoire, par exemple une cellule de mémoire flash, qui peut consister à : (a) déposer du polysilicium sur un substrat, (b) déposer un masque sur le polysilicium, (c) graver une ouverture dans le masque pour exposer une surface du polysilicium, (d) faire croître un oxyde de grille flottante au niveau de la surface de polysilicium exposée, (e) déposer un oxyde supplémentaire au-dessus de l'oxyde de grille flottante, de telle sorte que l'oxyde de grille flottante et l'oxyde supplémentaire définissent collectivement une coiffe d'oxyde, (f) retirer un matériau de masque adjacent à la coiffe d'oxyde, (g) graver des parties du polysilicium découvert par la coiffe d'oxyde, une partie restante du polysilicium définissant une grille flottante, et (h) déposer une couche d'espacement sur la coiffe d'oxyde et la grille flottante. La couche d'espacement peut comprendre une région de blindage alignée sur au moins une région de pointe orientée vers le haut de la grille flottante, ce qui aide à protéger une telle région de pointe (s) d'un processus d'implant source ultérieur.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)