Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019064585) SUBSTRATE HANDLING DEVICE, EXPOSURE DEVICE, METHOD FOR PRODUCING FLAT PANEL DISPLAY, DEVICE PRODUCTION METHOD, SUBSTRATE HANDLING METHOD, AND EXPOSURE METHOD
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/064585 № международной заявки: PCT/JP2017/035721
Дата публикации: 04.04.2019 Дата международной подачи: 29.09.2017
МПК:
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
7
Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
20
экспонирование, устройства для этой цели
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
67
устройства, специально предназначенные для манипулирования полупроводниковыми или электронными устройствами на твердом теле при их изготовлении или обработке; устройства, специально предназначенные для манипулирования полупроводниковыми пластинами при изготовлении или обработке полупроводниковых или электрических устройств на твердом теле или их компонентов
677
для транспортировки, например между различными рабочими местами
Заявители:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南二丁目15番3号 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
Изобретатели:
青木保夫 AOKI, Yasuo; JP
Агент:
片山修平 KATAYAMA, Shuhei; JP
Дата приоритета:
Название (EN) SUBSTRATE HANDLING DEVICE, EXPOSURE DEVICE, METHOD FOR PRODUCING FLAT PANEL DISPLAY, DEVICE PRODUCTION METHOD, SUBSTRATE HANDLING METHOD, AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF, PROCÉDÉ DE MANIPULATION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(JA) 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法
Реферат:
(EN) In order to shorten the time required for substrate replacement, this substrate handling device which conveys a substrate to the holding surface of a holding device comprises: a first holding portion which is positioned above the holding surface, and which holds the substrate in a state in which that the distance between one portion of the substrate and the holding surface is shorter than the distance between another portion of the substrate and the holding surface; a second holding portion which holds another portion of the substrate held by the first holding portion; and a drive unit which moves the holding device, the second holding portion and the first holding portion relative to one another in a direction along the holding surface, in such a manner that the first holding portion is retracted from above the holding device.
(FR) Dans le but de raccourcir le temps nécessaire au remplacement de substrat, le dispositif de manipulation de substrat que concerne la présente invention et qui transporte un substrat jusqu'à la surface de support d'un dispositif de maintien comprend : une première partie de maintien qui est positionnée au-dessus de la surface de support et qui maintient le substrat dans un état dans lequel la distance entre une partie du substrat et la surface de maintien est plus courte que la distance entre une autre partie du substrat et la surface de maintien ; une seconde partie de maintien qui maintient une autre partie du substrat maintenu par la première partie de maintien ; et un mécanisme d'entraînement qui déplace le dispositif de maintien, la seconde partie de maintien et la première partie de maintien les uns par rapport aux autres dans une direction le long de la surface de maintien de telle sorte que la première partie de maintien soit retirée d'une position au-dessus du dispositif de maintien.
(JA) 基板交換にかかる時間を短縮するため、基板を保持装置の保持面へ搬送する基板搬送装置において、前記保持面の上方に設けられ、前記基板の一部と前記保持面との距離が前記基板の他部と前記保持面との距離よりも短い状態の前記基板を保持する第1保持部と、前記第1保持部に保持された前記基板の他部を保持する第2保持部と、前記第1保持部が前記保持装置の上方から退避されるように、前記保持装置及び前記第2保持部と前記第1保持部とを前記保持面へ沿った方向へ相対移動させる駆動部と、を備える基板搬送装置である。
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Японский (JA)
Язык подачи: Японский (JA)