Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019059043) VALVE DEVICE, FLOW ADJUSTMENT METHOD, FLUID CONTROL DEVICE, FLOW CONTROL METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/059043 № международной заявки: PCT/JP2018/033596
Дата публикации: 28.03.2019 Дата международной подачи: 11.09.2018
МПК:
F16K 31/02 (2006.01) ,F16K 31/122 (2006.01) ,F16K 37/00 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,F16K 7/12 (2006.01)
F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
16
Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
K
Клапаны; краны; задвижки; поплавки для приведения их в действие; вентиляционные устройства или устройства для аэрации
31
Средства управления; включающие устройства
02
электрические; магнитные
F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
16
Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
K
Клапаны; краны; задвижки; поплавки для приведения их в действие; вентиляционные устройства или устройства для аэрации
31
Средства управления; включающие устройства
12
приводимые в действие жидкостью или газом
122
с воздействием жидкости или газа на поршень
F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
16
Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
K
Клапаны; краны; задвижки; поплавки для приведения их в действие; вентиляционные устройства или устройства для аэрации
37
Приспособления в клапанах или на клапанах или других запорных устройствах для указания или регистрации их работы или для сигнализации
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
04
приборов, имеющих хотя бы один потенциальный барьер, на котором осуществляется скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например p-n-переход, обедненный слой, слой с повышенной концентрацией носителей
18
приборов, в которых полупроводниковые подложки содержат элементы четвертой группы периодической системы или соединения AIIIBV с примесями или без них, например материалы с легирующими добавками
30
обработка полупроводников с использованием способов и устройств, не предусмотренных в
31
с целью образования диэлектрических слоев на полупроводниках, например для маскирования или с использованием фотолитографической технологии ; последующая обработка этих слоев; выбор материалов для этих слоев
F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
16
Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
K
Клапаны; краны; задвижки; поплавки для приведения их в действие; вентиляционные устройства или устройства для аэрации
7
Диафрагменные запорные устройства, например с деформируемыми, но не передвигаемыми элементами для запирания прохода
12
с плоской тарельчатой или чашечной диафрагмой
Заявители:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP
Изобретатели:
近藤 研太 KONDO Kenta; JP
吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide; JP
相川 献治 AIKAWA Kenji; JP
佐藤 秀信 SATO Hidenobu; JP
中田 知宏 NAKATA Tomohiro; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
滝本 昌彦 TAKIMOTO Masahiko; JP
Агент:
藤本 健司 FUJIMOTO Kenji; JP
Дата приоритета:
2017-18363825.09.2017JP
Название (EN) VALVE DEVICE, FLOW ADJUSTMENT METHOD, FLUID CONTROL DEVICE, FLOW CONTROL METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SOUPAPE, PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ÉCOULEMENT, DISPOSITIF DE COMMANDE DE FLUIDE, PROCÉDÉ DE RÉGULATION D'ÉCOULEMENT, DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法
Реферат:
(EN) A valve device is provided which can precisely adjust flow variation over time and with aging, without using external sensors. This valve device is provided with an adjustment actuator (100) which utilizes a piezoelectric element for adjusting the position of an operation member positioned in an open position. A drive circuit (200) of the adjustment actuator (100) comprises a detection unit (210) which detects an electric signal relating to the amount of strain generated in the piezoelectric element, and a control unit (210) which, on the basis of the electric signal relating to the amount of strain in the piezoelectric element, controls the adjustment actuator (100) such that the degree of opening of the flow path by a valve body is a target opening amount.
(FR) Dispositif de soupape qui peut régler avec précision une variation d'écoulement dans le temps et avec le vieillissement, sans utiliser de capteurs externes. Ce dispositif de soupape est pourvu d'un actionneur de réglage (100) qui utilise un élément piézoélectrique pour régler la position d'un élément d'actionnement positionné dans une position ouverte. Un circuit d'entraînement (200) de l'actionneur de réglage (100) comprend une unité de détection (210) qui détecte un signal électrique relatif à la quantité de contrainte générée dans l'élément piézoélectrique, et une unité de commande (210) qui, sur la base du signal électrique relatif à la quantité de contrainte dans l'élément piézoélectrique, commande l'actionneur de réglage (100) de telle sorte que le degré d'ouverture du chemin d'écoulement par un corps de soupape est une quantité d'ouverture cible.
(JA) 外部センサを用いることなく、経時、経年等による流量変動を精密に調整可能なバルブ装置を提供する。 開位置に位置付けられた操作部材の位置を調整するための圧電素子を利用した調整用アクチュエータ(100)を有し、調整用アクチュエータ(100)の駆動回路(200)は、圧電素子に生じるひずみ量に係わる電気信号を検出する検出部(210)と、圧電素子のひずみ量に係わる電気信号に基づいて、弁体による流路の開度が目標開度になるように調整用アクチュエータ(100)を制御する制御部(210)とを有する。
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Японский (JA)
Язык подачи: Японский (JA)