Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019052736) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюроОтправить комментарий

№ публикации: WO/2019/052736 № международной заявки: PCT/EP2018/070627
Дата публикации: 21.03.2019 Дата международной подачи: 30.07.2018
МПК:
G02B 7/182 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G ФИЗИКА
02
Оптика
B
Оптические элементы, системы или приборы
7
Оправы, регулирующие приспособления и светонепроницаемые соединения для оптических элементов
18
для призм; для зеркал
182
для зеркал
G ФИЗИКА
02
Оптика
B
Оптические элементы, системы или приборы
26
Оптические устройства или приспособления с использованием подвижных или деформируемых оптических элементов для управления интенсивностью, цветом, фазой, поляризацией или направлением света, например, переключение, стробирование, модуляция
08
для управления направлением света
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
7
Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
20
экспонирование, устройства для этой цели
Заявители:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Изобретатели:
HARTJES, Joachim; DE
Агент:
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart, DE
Дата приоритета:
10 2017 216 498.018.09.2017DE
Название (DE) OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR REPARATUR DER OPTISCHEN ANORDNUNG NACH EINER SCHOCKBELASTUNG
(EN) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉPARATION DU SYSTÈME OPTIQUE APRÈS UN CHOC
Реферат:
(DE) Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, insbesondere ein Lithographiesystem, umfassend: eine erste Komponente (19), insbesondere einen Tragrahmen, eine relativ zur ersten Komponente (19) bewegliche zweite Komponente (13, 3), insbesondere einen Spiegel (13) oder ein Gehäuse (3), sowie mindestens einen Anschlag (20a) mit mindestens einer Anschlagfläche (21a, b) zur Begrenzung der Bewegung der zweiten Komponente (13) relativ zur ersten Komponente (19). Der Anschlag (20a, b) weist zur Absorption der kinetischen Energie der zweiten Komponente beim Anschlagen gegen die Anschlagfläche (21a) einen Metallschaum (22) auf. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Reparatur einer solchen optischen Anordnung nach einer Schockbelastung, umfassend: Austauschen mindestens eines Anschlags (20b), bei dem der Metallschaum (22) bei der Schockbelastung gestaucht wurde, gegen einen Anschlag (20b), bei dem der Metallschaum (22) nicht gestaucht ist.
(EN) The invention relates to an optical arrangement, more particularly a lithography system, comprising: a first component (19), more particularly a supporting frame, a second component (13, 3) which is movable relative to the first component (19), more particularly a mirror (13) or a housing (3), and at least one stop (20a) having at least one stop surface (21a, b) for limiting the movement of the second component (13) relative to the first component (19). The stop (20a, b) comprises a metal foam (22) for absorbing the kinetic energy of the second component when it strikes against the stop surface (21a). The invention further relates to a method for repairing an optical arrangement of this kind after a shock load, comprising: exchanging at least one stop (20b), in which the metal foam (22) was compressed under the shock load, for a stop (20b) in which the metal foam (22) is not compressed.
(FR) L’invention concerne un système optique, en particulier un système de lithographie, comprenant : un premier composant (19), en particulier un cadre porteur, un second composant (13, 3) mobile par rapport au premier composant (19), en particulier un miroir (13) ou un boîtier (3), ainsi qu’au moins une butée (20a) présentant au moins une surface de butée (21a, b) limitant le déplacement du second composant (13) par rapport au premier composant (19). La butée (20a, b) présente une mousse métallique (22) servant à absorber l’énergie cinétique du second composant lorsqu'il bute contre la surface de butée (21a). L’invention concerne également un procédé de réparation dudit système optique après un choc, consistant à : remplacer au moins une butée (20b) dont la mousse métallique (22) a été écrasée par le choc par une butée (20b) dont la mousse métallique (22) n’est pas écrasée par le choc.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийское патентное ведомство (ЕАПВ) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Немецкий (DE)
Язык подачи: Немецкий (DE)