Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019048506) TRAINING METHODS FOR MACHINE LEARNING ASSISTED OPTICAL PROXIMITY ERROR CORRECTION
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/048506 № международной заявки: PCT/EP2018/073914
Дата публикации: 14.03.2019 Дата международной подачи: 05.09.2018
МПК:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 1/36 (2012.01) ,G06F 17/50 (2006.01) ,G06N 99/00
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
7
Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
20
экспонирование, устройства для этой цели
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
1
Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
36
маски, обладающие свойствами приблизительной коррекции; их изготовление, например процессы оптической коррекции эффекта близости изображения (OPC)
G ФИЗИКА
06
Обработка данных; вычисление; счет
F
Обработка цифровых данных с помощью электрических устройств
17
Устройства или методы цифровых вычислений или обработки данных, специально предназначенные для специфических функций
50
автоматизированное проектирование
G ФИЗИКА
06
Обработка данных; вычисление; счет
N
Компьютерные системы, основанные на специфических вычислительных моделях
99
Тематика, не отнесенная к другим группам данного подкласса
Заявители:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Изобретатели:
SU, Jing; US
LU, Yen-Wen; US
LUO, Ya; US
Агент:
PETERS, John; NL
Дата приоритета:
62/556,24608.09.2017US
62/725,73431.08.2018US
Название (EN) TRAINING METHODS FOR MACHINE LEARNING ASSISTED OPTICAL PROXIMITY ERROR CORRECTION
(FR) PROCÉDÉS D'APPRENTISSAGE DE CORRECTION OPTIQUE D'ERREUR DE PROXIMITÉ ASSISTÉE PAR APPRENTISSAGE AUTOMATIQUE
Реферат:
(EN) A method including: obtaining an optical proximity correction for a spatially shifted version of a training design pattern (5000); and training a machine learning model (5200) configured to predict optical proximity corrections for design patterns using data (5051; 5053) regarding the spatially shifted version of the training design pattern and data (5041; 5043) based on the optical proximity corrections for the spatially shifted version of the training design pattern.
(FR) L'invention concerne un procédé qui comprend les étapes suivantes : obtention d'une correction optique de proximité pour une version décalée dans l'espace d'un motif de conception d'apprentissage (5000); et apprentissage d'un modèle d'apprentissage automatique (5200) configuré afin de prédire des corrections optiques de proximité pour des motifs de conception à l'aide de données (5051; 5053) concernant la version décalée dans l'espace du motif de conception d'apprentissage et des données (5041; 5043) sur la base des corrections optiques de proximité pour la version décalée dans l'espace du motif de conception d'apprentissage.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)