Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019046141) TRAINING A LEARNING BASED DEFECT CLASSIFIER
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/046141 № международной заявки: PCT/US2018/048042
Дата публикации: 07.03.2019 Дата международной подачи: 27.08.2018
МПК:
H01L 21/66 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
66
испытания или измерения в процессе изготовления или обработки
Заявители:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Изобретатели:
BRAUER, Bjorn; US
Агент:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Дата приоритета:
16/109,63122.08.2018US
62/553,35101.09.2017US
Название (EN) TRAINING A LEARNING BASED DEFECT CLASSIFIER
(FR) FORMATION D'UN CLASSIFICATEUR DE DÉFAUTS BASÉ SUR L'APPRENTISSAGE
Реферат:
(EN) Methods and systems for training a learning based defect classifier are provided. One method includes training a learning based defect classifier with a training set of defects that includes identified defects of interest (DOIs) and identified nuisances. The DOIs and nuisances in the training set include DOIs and nuisances identified on at least one training wafer and at least one inspection wafer. The at least one training wafer is known to have an abnormally high defectivity and the at least one inspection wafer is expected to have normal defectivity.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des systèmes pour la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage. Un procédé comprend la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage avec un ensemble de formation de défauts qui comprend des défauts d'intérêt (DOI) identifiés et des nuisances identifiées. Les DOI et les nuisances dans l'ensemble de formation comprennent des DOI et des nuisances identifiés sur au moins une plaquette de formation et au moins une tranche d'inspection. L'une ou les plaquettes de formation sont connues pour avoir une défectivité anormalement élevée et l'une ou les plaquettes d'inspection sont censées avoir une défectivité normale.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)