Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019032700) SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING MAGNETIC CORE INDUCTOR AND METHOD OF MAKING SAME
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюроОтправить комментарий

№ публикации: WO/2019/032700 № международной заявки: PCT/US2018/045807
Дата публикации: 14.02.2019 Дата международной подачи: 08.08.2018
МПК:
H01L 49/02 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/311 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
49
Приборы на твердом теле, не предусмотренные в группах и и не предусмотренные ни в одном другом подклассе; способы и устройства, специально предназначенные для изготовления таких приборов или их частей
02
тонкопленочные или толстопленочные приборы
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
027
образование маски на полупроводниковой подложке для дальнейшей фотолитографической обработки, не отнесенное к рубрикам или
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
04
приборов, имеющих хотя бы один потенциальный барьер, на котором осуществляется скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например p-n-переход, обедненный слой, слой с повышенной концентрацией носителей
18
приборов, в которых полупроводниковые подложки содержат элементы четвертой группы периодической системы или соединения AIIIBV с примесями или без них, например материалы с легирующими добавками
30
обработка полупроводников с использованием способов и устройств, не предусмотренных в
31
с целью образования диэлектрических слоев на полупроводниках, например для маскирования или с использованием фотолитографической технологии ; последующая обработка этих слоев; выбор материалов для этих слоев
3105
последующая обработка
311
травление
Заявители:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Изобретатели:
SUO, Peng; SG
GU, Yu; SG
SEE, Guan Huei; SG
SUNDARRAJAN, Arvind; SG
Агент:
PATEL, Ronak, A.; US
TABOADA, Alan; US
MOSER, Raymond R., Jr.; US
LINARDAKIS, Leonard, P.; US
Дата приоритета:
16/056,84707.08.2018US
62/544,74411.08.2017US
Название (EN) SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING MAGNETIC CORE INDUCTOR AND METHOD OF MAKING SAME
(FR) SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR AYANT UNE BOBINE D'INDUCTANCE À NOYAU MAGNÉTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Реферат:
(EN) A method of forming a magnetic core on a substrate having a stacked inductor coil includes etching a plurality of polymer layers to form at least one feature through the plurality of polymer layers, wherein the at least one feature is disposed within a central region of a stacked inductor coil formed on the substrate; and depositing a magnetic material within the at least one feature.
(FR) La présente invention concerne un procédé de formation d'un noyau magnétique sur un substrat ayant une bobine d'inductance empilée comprenant la gravure d'une pluralité de couches polymères pour former au moins une caractéristique à travers la pluralité de couches polymères, ladite au moins une caractéristique étant disposée à l'intérieur d'une région centrale d'une bobine d'inductance empilée formée sur le substrat ; et le dépôt d'un matériau magnétique à l'intérieur de ladite caractéristique.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийское патентное ведомство (ЕАПВ) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)