Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2019028324) POLISHING PAD WITH WINDOW AND MANUFACTURING METHODS THEREOF
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2019/028324 № международной заявки: PCT/US2018/045122
Дата публикации: 07.02.2019 Дата международной подачи: 03.08.2018
МПК:
B24B 37/013 (2012.01) ,B24B 37/20 (2012.01) ,B24B 37/24 (2012.01)
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
24
Шлифование; полирование
B
Станки, устройства или способы для шлифования или полирования ; правка шлифующих поверхностей или придание им требуемого вида; подача шлифовальных, полировальных или притирочных материалов
37
Станки или устройства для притирки порошкообразными абразивными веществами; вспомогательные принадлежности для них
005
средства управления станками или устройствами для притирки
013
устройства или средства для выявления завершения операции притирки
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
24
Шлифование; полирование
B
Станки, устройства или способы для шлифования или полирования ; правка шлифующих поверхностей или придание им требуемого вида; подача шлифовальных, полировальных или притирочных материалов
37
Станки или устройства для притирки порошкообразными абразивными веществами; вспомогательные принадлежности для них
11
инструменты для притирки
20
подложки для обработки плоских поверхностей
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
24
Шлифование; полирование
B
Станки, устройства или способы для шлифования или полирования ; правка шлифующих поверхностей или придание им требуемого вида; подача шлифовальных, полировальных или притирочных материалов
37
Станки или устройства для притирки порошкообразными абразивными веществами; вспомогательные принадлежности для них
11
инструменты для притирки
20
подложки для обработки плоских поверхностей
24
характеризующиеся составом или свойствами материала
Заявители:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Изобретатели:
FU, Boyi; US
GANAPATHIAPPAN, Sivapackia; US
REDFIELD, Daniel; US
BAJAJ, Rajeev; US
CHOCKALINGAM, Ashwin; US
BENVEGNU, Dominic J.; US
CORNEJO, Mario Dagio; US
YAMAMURA, Mayu; US
PATIBANDLA, Nag B.; US
VORA, Ankit; US
Агент:
PATTERSON, B. Todd; US
STEVENS, Joseph J.; US
Дата приоритета:
62/541,49704.08.2017US
62/562,23722.09.2017US
Название (EN) POLISHING PAD WITH WINDOW AND MANUFACTURING METHODS THEREOF
(FR) TAMPON À POLIR DOTÉ D’UNE FENÊTRE ET SES PROCÉDÉS DE FABRICATION
Реферат:
(EN) Embodiments of the present disclosure provide for polishing pads that include at least one endpoint detection (EPD) window disposed through the polishing pad material, and methods of forming thereof. In one embodiment a method of forming a polishing pad includes forming a first layer of the polishing pad by dispensing a first precursor composition and a window precursor composition, the first layer comprising at least portions of each of a first polishing pad element and a window feature, and partially curing the dispensed first precursor composition and the dispensed window precursor composition disposed within the first layer.
(FR) La présente invention concerne, selon certains modes de réalisation, des tampons à polir qui comprennent au moins une fenêtre de détection de point d'extrémité (EPD) disposée dans le matériau de tampon à polir, et leurs procédés de formation. Selon un mode de réalisation, un procédé de formation d'un tampon à polir consiste à former une première couche du tampon à polir par distribution d'une première composition de précurseur et d'une composition de précurseur de fenêtre, la première couche comprenant au moins des parties d'un premier organe de tampon à polir et d'un élément fenêtre, et à durcir partiellement la première composition de précurseur distribuée et la composition de précurseur de fenêtre distribuée disposées dans la première couche.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)