Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2018179495) APPARATUS FOR PRODUCING TREATED WATER
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюроОтправить комментарий

№ публикации: WO/2018/179495 № международной заявки: PCT/JP2017/032800
Дата публикации: 04.10.2018 Дата международной подачи: 12.09.2017
МПК:
C02F 1/68 (2006.01) ,B01D 19/00 (2006.01) ,C02F 1/20 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
02
Обработка воды, промышленных и бытовых сточных вод или отстоя сточных вод
F
Обработка воды, промышленных и бытовых сточных вод или отстоя сточных вод
1
Обработка воды, промышленных или бытовых сточных вод
68
добавлением специфических веществ, например микроэлементов, для улучшения питьевой воды
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
01
Способы и устройства общего назначения для осуществления различных физических и химических процессов
D
Разделение
19
Дегазация жидкостей
C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
02
Обработка воды, промышленных и бытовых сточных вод или отстоя сточных вод
F
Обработка воды, промышленных и бытовых сточных вод или отстоя сточных вод
1
Обработка воды, промышленных или бытовых сточных вод
20
дегазацией, т.е. освобождением от растворенных газов
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
04
приборов, имеющих хотя бы один потенциальный барьер, на котором осуществляется скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например p-n-переход, обедненный слой, слой с повышенной концентрацией носителей
18
приборов, в которых полупроводниковые подложки содержат элементы четвертой группы периодической системы или соединения AIIIBV с примесями или без них, например материалы с легирующими добавками
30
обработка полупроводников с использованием способов и устройств, не предусмотренных в
302
для изменения физических свойств или формы их поверхностей, например травление, полирование, резка
304
механическая обработка, например шлифование, полирование, резка
Заявители:
栗田工業株式会社 KURITA WATER INDUSTRIES LTD. [JP/JP]; 東京都中野区中野四丁目10番1号 10-1, Nakano 4-chome, Nakano-ku, Tokyo 1640001, JP
Изобретатели:
正岡 融 MASAOKA, Tooru; JP
Агент:
重野 剛 SHIGENO, Tsuyoshi; JP
重野 隆之 SHIGENO, Takayuki; JP
Дата приоритета:
2017-06809230.03.2017JP
Название (EN) APPARATUS FOR PRODUCING TREATED WATER
(FR) APPAREIL POUR PRODUIRE DE L'EAU TRAITÉE
(JA) 水質調整水製造装置
Реферат:
(EN) An apparatus for producing treated water by adding a pH-adjusting agent and/or an ORP-adjusting agent to ultrapure water, provided with: a chemical solution tank 1 for storing a chemical solution comprising a pH-adjusting agent and/or an ORP-adjusting agent; a chemical injection piping 3 for chemical injection of the chemical solution in the chemical solution tank 1 into the ultrapure water; and a deaeration means 6 for deaerating the chemical solution injected into the ultrapure water. When producing treated water, which is useful as rinsing water, etc. for semiconductor wafers, by adding a pH-adjusting agent and/or an ORP-adjusting agent to ultrapure water, the present invention solves the problem of DO being introduced from the chemical solution and the problem of faulty chemical injection and faulty flow meter measurement due to foaming of the chemical solution, making it possible to produce treated water of low DO concentration and high water quality in a stable manner.
(FR) L'invention concerne un appareil pour produire de l'eau traitée par ajout d'un agent régulateur de pH et/ou d'un agent régulateur du potentiel d'oxydo-réduction (P.O.R) à de l'eau ultra-pure, comprenant : un réservoir de solution chimique 1 pour stocker une solution chimique comprenant un agent régulateur de pH et/ou un agent régulateur du P.O.R ; une tuyauterie d'injection chimique 3 pour l'injection chimique de la solution chimique, présente dans le réservoir de solution chimique 1, dans l'eau ultrapure ; et un moyen de désaération 6 pour désaérer la solution chimique injectée dans l'eau ultrapure. Lors de la production d'eau traitée, qui est utile comme eau de rinçage, etc. pour des tranches de semi-conducteur, en ajoutant un agent régulateur de pH et/ou un agent régulateur du P.O.R à de l'eau ultra-pure, la présente invention résout le problème lié à l'introduction d'oxygène dissous (O.D) à partir de la solution chimique et le problème lié à une injection chimique défectueuse et à une mesure de débitmètre défectueuse en raison du moussage de la solution chimique, ce qui permet de produire de l'eau traitée ayant une faible concentration d'O.D et une haute qualité d'eau d'une manière stable.
(JA) 超純水にpH調整剤及び/又は酸化還元電位調整剤を添加して水質調整水を製造する装置であって、pH調整剤及び/又は酸化還元電位調整剤を含む薬液を貯留する薬液タンク1と、該薬液タンク1内の薬液を超純水に薬注する薬注配管3と、該超純水に薬注される薬液を脱気処理する脱気手段6とを備える水質調整水製造装置。超純水にpH調整剤及び/又は酸化還元電位調整剤を添加して、半導体ウェハの洗浄水等として有用な水質調整水を製造するに当たり、薬液からのDOの混入、薬液の発泡による薬注不良や流量計の計測不良といった問題を解決して、DO濃度の低い高水質の水質調整水を安定的に製造することができる。
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийское патентное ведомство (ЕАПВ) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Японский (JA)
Язык подачи: Японский (JA)