Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2018042897) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2018/042897 № международной заявки: PCT/JP2017/025365
Дата публикации: 08.03.2018 Дата международной подачи: 12.07.2017
МПК:
H01J 37/20 (2006.01) ,B23Q 1/72 (2006.01) ,G12B 5/00 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
J
Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
37
Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки
02
элементы конструкции
20
устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
23
Металлорежущие станки; способы и устройства для обработки металлов, не отнесенные к другим рубрикам
Q
Детали, узлы и вспомогательные устройства для металлообрабатывающих станков, например устройства для копирования или управления ; станки вообще, отличающиеся конструкцией деталей или узлов; агрегатные станки или поточные линии, не ограничивающиеся выполнением какого-либо одного вида металлообработки
1
Конструктивные элементы, входящие в общую компоновку станка, в частности относительно большие неподвижные детали
72
вспомогательные приспособления; взаимосвязь между вспомогательными столами и подвижными элементами станка
G ФИЗИКА
12
Конструктивные элементы приборов
B
Конструктивные элементы приборов или инструментов или аналогичные элементы других устройств, не отнесенные к другим подклассам
5
Регулирование положения, например уровня, приборов или других устройств или их частей; компенсация наклона или ускорения, например для оптических приборов
Заявители:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Изобретатели:
高橋 宗大 TAKAHASHI Motohiro; JP
水落 真樹 MIZUOCHI Masaki; JP
中川 周一 NAKAGAWA Shuichi; JP
小川 博紀 OGAWA Hironori; JP
加藤 孝宜 KATO Takanori; JP
Агент:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Дата приоритета:
2016-16747630.08.2016JP
Название (EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
Реферат:
(EN) The present invention relates to a charged particle beam device wherein a table deformation arising from the movement of a rolling element from a guide can be suppressed via a simple constitution. Provided in the sample stage containing a table (105) and a linear guide, which comprises a carriage (201), a rolling element, and a guide rail (202), is a distortion-insulating guide structure characterized by the connection between the carriage (201) and the table (105) being mediated by an adapter (401) that is an elastic deformable member. The invention also provides a stage using the guide structure and a charged particle beam device using the stage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une déformation de table résultant du mouvement d'un élément roulant à partir d'un guide peut être supprimée par l'intermédiaire d'une constitution simple. Dans l'étage d'échantillon contenant une table (105) et un guide linéaire, qui comprend un chariot (201), un élément roulant et un rail de guidage (202), se trouve une structure de guidage d'isolation de distorsion caractérisée par le fait que la liaison entre le chariot (201) et la table (105) est médiée par un adaptateur (401) qui est un élément déformable élastique. L'invention concerne également un étage utilisant la structure de guidage et un dispositif de faisceau de particules chargées utilisant l'étage.
(JA) 本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置に関するものであって、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Японский (JA)
Язык подачи: Японский (JA)