Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2017173129) METROLOGY SYSTEM FOR SUBSTRATE DEFORMATION MEASUREMENT
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро    Отправить комментарий

№ публикации: WO/2017/173129 № международной заявки: PCT/US2017/025112
Дата публикации: 05.10.2017 Дата международной подачи: 30.03.2017
МПК:
H01L 21/66 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
66
испытания или измерения в процессе изготовления или обработки
Заявители:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Изобретатели:
VAEZ-IRAVANI, Mehdi; US
EGAN, Todd; US
BANNA, Samer; US
TANTIWONG, Kyle; US
Агент:
PATTERSON, B. Todd; US
STEVENS, Joseph J.; US
Дата приоритета:
62/315,66230.03.2016US
Название (EN) METROLOGY SYSTEM FOR SUBSTRATE DEFORMATION MEASUREMENT
(FR) SYSTÈME DE MÉTROLOGIE POUR MESURE DE DÉFORMATION DE SUBSTRAT
Реферат:
(EN) Embodiments of the disclosure provide methods and system for inspecting and treating a substrate. In one embodiment, a method is provided including transmitting a first plurality of beams from a diffractive beam splitter to a first surface of a substrate to generate a reflection of a second plurality of beams, wherein the first plurality of beams are spaced apart from each other upon arriving at the first surface of the substrate; receiving the second plurality of beams on a recording surface of an optical device, wherein the second plurality of beams are spaced apart from each other upon arriving at the recording surface; measuring positional information of the second plurality of beams on the recording surface; comparing the positional information of the second plurality of beams to positional information stored in a memory; and storing a result of the comparison in the memory.
(FR) Selon des modes de réalisation, l'invention concerne des procédés et un système d'inspection et de traitement de substrat. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un procédé qui comprend la transmission d'une première pluralité de faisceaux depuis un diviseur de faisceau à diffraction jusqu'à une première surface d'un substrat afin de générer une réflexion d'une seconde pluralité de faisceaux, la première pluralité de faisceaux étant espacés les uns des autres lors de leur arrivée sur la première surface du substrat ; la réception de la seconde pluralité de faisceaux sur une surface d'enregistrement d'un dispositif optique, la seconde pluralité de faisceaux étant espacés les uns des autres lors de leur arrivée sur la surface d'enregistrement ; la mesure d'informations de position de la seconde pluralité de faisceaux sur la surface d'enregistrement ; la comparaison des informations de position de la seconde pluralité de faisceaux à des informations de position stockées dans une mémoire ; le stockage d'un résultat de la comparaison dans la mémoire.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)