Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2017001010) SELF-LOCKING HOLDER FOR SUBSTRATES
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро

№ публикации: WO/2017/001010 № международной заявки: PCT/EP2015/065011
Дата публикации: 05.01.2017 Дата международной подачи: 01.07.2015
МПК:
C23C 14/50 (2006.01) ,C03C 17/00 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01)
C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
23
Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
C
Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще
14
Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие
22
характеризуемые способом покрытия
50
держатели подложек
C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
03
Стекло; минеральная и шлаковая вата
C
Химический состав стекла, глазурей или эмалей; обработка поверхности стекла; обработка поверхности волокон или нитей из стекла, минералов или шлака; соединение стекла со стеклом или с другими материалами
17
Поверхностная обработка стекла, например расстекловыванного стекла, кроме волокон или нитей, нанесением покрытия
C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
23
Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
C
Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще
16
Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП)
44
характеризуемые способом покрытия
458
характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере
Заявители:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
BRÜNING, Andre [DE/DE]; DE (US)
LINDENBERG, Ralph [DE/DE]; DE (US)
Изобретатели:
BRÜNING, Andre; DE
LINDENBERG, Ralph; DE
Агент:
ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Дата приоритета:
Название (EN) SELF-LOCKING HOLDER FOR SUBSTRATES
(FR) SUPPORT AUTOBLOQUANT POUR SUBSTRATS
Реферат:
(EN) A holder (200) configured to be attached to a carrier body (160) for holding a substrate (101) is described. The holder (200) includes a first portion (210) having a first inclined surface (212), the first portion (210) being configured to be attached to the carrier body (160), a second portion (220), the second portion (220) being configured to be movable relative to the first portion (210) in at least one direction (X). The first inclined surface (212) is inclined with respect to a substrate (101) to be loaded by a first angle (α).
(FR) La présente invention concerne un support (200) configuré pour être fixé à un corps de support (160) pour maintenir un substrat (101). Le support (200) comprend une première partie (210) ayant une première surface inclinée (212), la première partie (210) étant configurée pour être fixée au corps de support (160), une deuxième partie (220), la deuxième partie (220) étant configurée pour être mobile par rapport à la première partie (210) dans au moins une direction (X). La première surface inclinée (212) est inclinée par rapport à un substrat (101) pour être chargée à un premier angle (α).
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийское патентное ведомство (ЕАПВ) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)
Также опубликовано как:
CN107810288KR1020180022989