WIPO logo
Мобильная версия | Deutsch | English | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Поиск по международным и национальным патентным фондам
World Intellectual Property Organization
Настройки
Язык запроса
Основа слова
Сортировать по:
Длина списка
Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2010112827) METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING THREE DIMENSIONAL NANO AND MICRO SCALE STRUCTURES
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро   

№ публикации: WO/2010/112827 № международной заявки: PCT/GB2010/000599
Дата публикации: 07.10.2010 Дата международной подачи: 29.03.2010
МПК:
H01J 37/305 (2006.01)
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
J
Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
37
Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки
30
электронно-лучевые или ионно-лучевые приборы для местной обработки объектов
305
для литья, расплавления, испарения, гравировки или травления
Заявители: COX, David[GB/GB]; GB (UsOnly)
THE SECRETARY OF STATE FOR BUSINESS INNOVATION AND SKILLS OF HER MAJESTY'S BRITANNIC GOVERNMENT[GB/GB]; 1 Victoria Street London SW1 0ET, GB (AllExceptUS)
UNIVERSITY OF SURREY[GB/GB]; Guilford Surrey GU1 7XH, GB (AllExceptUS)
Изобретатели: COX, David; GB
Агент: JEHAN, Robert; Williams Powell Staple Court 11 Staple Inn Buildings London WC1V 7QH, GB
Дата приоритета:
0905571.631.03.2009GB
Название (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING THREE DIMENSIONAL NANO AND MICRO SCALE STRUCTURES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE FABRICATION DE NANOSTRUCTURES ET DE MICROSTRUCTURES EN TROIS DIMENSIONS
Реферат:
(EN) A three-dimensional milling method and apparatus is disclosed for milling micrometre and a nanometre scale three-dimensional structures. The apparatus includes an ion column (12) operable to generate a milling beam onto a substrate (20) held on an instrument stage (18). A patterning computer (22) is operable to control the ion column (12) to generate varying ion beam and/or dwell times or to produce a plurality of milling passes, in which subsequent passes overlap previous passes at least partially to create three-dimensional structures. Optionally, an SEM column (14) may be provided.
(FR) L'invention concerne un procédé et un appareil de fraisage en trois dimensions destinés à fraiser des structures micrométriques et nanométriques en trois dimensions. L'appareil comprend une colonne ionique (12) capable de générer un faisceau de fraisage vers un substrat (20) maintenu sur un support d'instrument (18). Une unité de reproduction de motifs (22) est capable de contrôler la colonne ionique (12) afin de générer différentes durées de faisceaux ioniques et/ou de séjour ou de produire une pluralité de fraisages, les fraisages ultérieurs chevauchant les fraisages antérieurs au moins partiellement afin de créer des structures en trois dimensions. Eventuellement, une colonne de microscopie à balayage électronique (14) peut être prévue.
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)