Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (WO2006010128) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
Новейшие библиограф. данные, касающиеся досье в Международном бюро   

№ публикации: WO/2006/010128 № международной заявки: PCT/US2005/024580
Дата публикации: 26.01.2006 Дата международной подачи: 11.07.2005
Требованиe в соответствии с Главой 2 подано: 07.02.2006
МПК:
G06F 19/00 (2006.01) ,G06F 11/30 (2006.01) ,G01N 37/00 (2006.01)
G ФИЗИКА
06
Обработка данных; вычисление; счет
F
Обработка цифровых данных с помощью электрических устройств
19
Устройства или способы цифровых вычислений или обработки данных для специальных применений
G ФИЗИКА
06
Обработка данных; вычисление; счет
F
Обработка цифровых данных с помощью электрических устройств
11
Обнаружение ошибок; исправление ошибок; контроль
30
контроль
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
37
Элементы, не предусмотренные другими группами данного подкласса
Заявители:
ONWAFER TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 6591.A Sierra Lane Dublin, CA 94568, US (AllExceptUS)
Изобретатели:
MACDONALD, Paul, D.; US
KRUGER, Michiel; US
WELCH, Michael; US
FREED, Mason, L.; US
SPANOS, Costas, J.; US
Агент:
WILLIAMS, Larry; 3645 Montgomery Drive Santa Rosa, CA 95405, US
Дата приоритета:
60/586,89210.07.2004US
Название (EN) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
(FR) PROCEDE ET APPAREILS DE MAINTENANCE, DE DIAGNOSTIC ET D'OPTIMISATION DE PROCEDES
Реферат:
(EN) A method and system (50) for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece. System 50 includes a design experiments module (60), a perturbation model builder (70) and a data analysis module (75).
(FR) L'invention porte, dans un aspect, sur un procédé de surveillance de procédés, d'optimisation de procédés, et de diagnostic de problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement permettant de traiter une pièce à travailler. Dans un autre aspect, l'invention concerne un système configuré pour surveiller des procédés, optimiser des procédés et diagnostiquer des problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement servant à traiter une pièce à travailler. Un mode de réalisation de l'invention comprend un programme logiciel qui peut être installé dans un ordinateur afin d'optimiser la performance d'un instrument de traitement d'une pièce à travailler.
front page image
Указанные государства: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Африканская региональная организация промышленной собственности (АРОПС) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Евразийская патентная организация (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Европейское патентное ведомство (ЕПВ) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Африканская организация интеллектуальной собственности (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Язык публикации: Английский (EN)
Язык подачи: Английский (EN)