Поиск по международным и национальным патентным фондам
Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (US20150055127) Particulate contamination measurement method and apparatus

Ведомство : Соединенные Штаты Америки
Номер заявки: 14389075 Дата заявки: 28.03.2013
Номер публикации: 20150055127 Дата публикации: 26.02.2015
Номер предоставленного патента: 09638643 Дата выдачи патента: 02.05.2017
Вид публикации: B2
Справочный номер PCT: Номер заявки:PCTEP2013056794 ; Номер публикации: Нажать здесь, чтобы просмотреть данные
МПК:
G01N 21/00
G01N 21/94
G03F 7/20
G03F 1/82
B32B 37/24
B32B 38/10
G01N 21/956
G01N 21/47
G01N 1/02
G01N 1/28
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
21
Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
21
Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей
84
системы, предназначенные для особых целей
88
выявление дефектов, трещин или загрязнений
94
выявление загрязнений, например пыли
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
7
Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
20
экспонирование, устройства для этой цели
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
1
Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
68
процессы изготовления, не отнесенные к группам
82
вспомогательные процессы, например чистка
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
32
Слоистые изделия или материалы
B
Слоистые изделия или материалы, состоящие из плоских или объемных слоев, например из слоев ячеистой или сотовой структуры
37
Способы или устройства для ламинирования, например отверждением или соединением с использованием ультразвука
14
характеризующиеся свойствами слоев
24
по крайней мере с одним слоем, не являющимся когерентным перед ламинированием, например состоящим из гранулированного материала, вкрапленного в субстрат
B РАЗЛИЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ; ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ
32
Слоистые изделия или материалы
B
Слоистые изделия или материалы, состоящие из плоских или объемных слоев, например из слоев ячеистой или сотовой структуры
38
Вспомогательные операции, связанные с процессами ламинирования
10
удаление слоев или их частей механическими или химическими способами
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
21
Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей
84
системы, предназначенные для особых целей
88
выявление дефектов, трещин или загрязнений
95
характеризующееся материалом или формой исследуемого объекта
956
осмотр рисунков или узоров на поверхности объектов
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
21
Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей
17
системы, в которых на падающий свет влияют свойства исследуемого материала
47
дисперсионная способность, т.е. диффузионное отражение
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
1
Получение образцов; подготовка образцов для исследования
02
устройства для взятия проб
G ФИЗИКА
01
Измерение; испытание
N
Исследование или анализ материалов путем определения их химических или физических свойств
1
Получение образцов; подготовка образцов для исследования
28
подготовка образцов для исследования
Заявители: ASML Netherlands B.V.
TNO
Изобретатели: Antonius Martinus Cornelis Petrus De Jong
Jacques Cor Johan Van Der Donck
Агенты: Sterne, Kessler, Goldstein & Fox P.L.L.C.
Дата приоритета:
Название: (EN) Particulate contamination measurement method and apparatus
Реферат: front page image
(EN)

A particulate contamination measurement method and apparatus are discussed. The method, for example, comprises pressing a measurement surface (5) of a polyurethane elastomer (2) against a surface (7) to be measured, removing the polyurethane elastomer from the surface without leaving residues, then using an optical apparatus (11) to detect particles (8) which have been removed by the polyurethane elastomer from the surface and which have become attached to the polyurethane elastomer.


Также опубликовано как:
EP2834709KR1020150013483CN104204954JP6282260JP2015517101WO/2013/149961