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1. JP2007107941 - APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFER IN INSPECTION PROCESS

Organismo Japão
Número do pedido 2005297229
Data do pedido 12.10.2005
Número da publicação 2007107941
Data de publicação 26.04.2007
Tipo de publicação A
CIP
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
R
MEDIÇÃO DE VARIÁVEIS ELÉTRICAS; MEDIÇÃO DE VARIÁVEIS MAGNÉTICAS
31
Disposições para teste das propriedades elétricas; Disposições para localização de defeitos elétricos; Disposições para teste elétrico caracterizados pelo que está sendo verificado, não incluída em outro local
26
Teste de dispositivos semicondutores individuais
B OPERAÇÕES DE PROCESSAMENTO; TRANSPORTE
07
SEPARAÇÃO DE SÓLIDOS DE OUTROS SÓLIDOS; SELECIONAMENTO
C
SELEÇÃO POSTAL; SELEÇÃO DE OBJETOS ISOLADOS OU DE MATERIAL A GRANEL CAPAZES DE SEREM SEPARADOS PEÇA POR PEÇA, p. ex., POR COLETA
5
Seleção de acordo com a característica ou tipo dos artigos ou materiais a serem selecionados, p. ex., por meio de controle efetuado por dispositivos que detectem ou meçam tais características ou tipos; Seleção por dispositivos de acionamento manual, p. ex.,chaves
02
Medidas preliminares à seleção, p. ex., disposição dos objetos em um fluxo, correção da posição
B OPERAÇÕES DE PROCESSAMENTO; TRANSPORTE
07
SEPARAÇÃO DE SÓLIDOS DE OUTROS SÓLIDOS; SELECIONAMENTO
C
SELEÇÃO POSTAL; SELEÇÃO DE OBJETOS ISOLADOS OU DE MATERIAL A GRANEL CAPAZES DE SEREM SEPARADOS PEÇA POR PEÇA, p. ex., POR COLETA
5
Seleção de acordo com a característica ou tipo dos artigos ou materiais a serem selecionados, p. ex., por meio de controle efetuado por dispositivos que detectem ou meçam tais características ou tipos; Seleção por dispositivos de acionamento manual, p. ex.,chaves
04
Seleção segundo as dimensões
10
medidas por meios fotossensíveis
B OPERAÇÕES DE PROCESSAMENTO; TRANSPORTE
07
SEPARAÇÃO DE SÓLIDOS DE OUTROS SÓLIDOS; SELECIONAMENTO
C
SELEÇÃO POSTAL; SELEÇÃO DE OBJETOS ISOLADOS OU DE MATERIAL A GRANEL CAPAZES DE SEREM SEPARADOS PEÇA POR PEÇA, p. ex., POR COLETA
5
Seleção de acordo com a característica ou tipo dos artigos ou materiais a serem selecionados, p. ex., por meio de controle efetuado por dispositivos que detectem ou meçam tais características ou tipos; Seleção por dispositivos de acionamento manual, p. ex.,chaves
36
Aparelhos de seleção caracterizados pelos meios utilizados para a distribuição
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
B
MEDIÇÃO DE COMPRIMENTOS, ESPESSURAS OU OUTRAS DIMENSÕES LINEARES SEMELHANTES; MEDIÇÃO DE ÂNGULOS; MEDIÇÃO DE ÁREAS; MEDIÇÃO DE IRREGULARIDADES DE SUPERFÍCIES OU CONTORNOS
11
Disposições de medição caracterizadas pelo uso de meios ópticos
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
B
MEDIÇÃO DE COMPRIMENTOS, ESPESSURAS OU OUTRAS DIMENSÕES LINEARES SEMELHANTES; MEDIÇÃO DE ÂNGULOS; MEDIÇÃO DE ÁREAS; MEDIÇÃO DE IRREGULARIDADES DE SUPERFÍCIES OU CONTORNOS
11
Disposições de medição caracterizadas pelo uso de meios ópticos
24
para medição de contornos ou curvaturas
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
N
INVESTIGAÇÃO OU ANÁLISE DOS MATERIAIS PELA DETERMINAÇÃO DE SUAS PROPRIEDADES QUÍMICAS OU FÍSICAS
21
Investigação ou análise de materiais pelo uso de meios ópticos, i.e., usando raios infravermelhos, visíveis ou ultravioletas
84
Sistemas especialmente adaptados para aplicações especiais
88
Investigação da presença de falhas, defeitos ou contaminação
G01R 31/26
B07C 5/02
B07C 5/10
B07C 5/36
G01B 11/00
G01B 11/24
Requerentes FUJIFILM CORP
富士フイルム株式会社
Inventores YOKOHASHI KATSUYUKI
横橋 克幸
Mandatários 高松 猛
矢澤 清純
Título
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFER IN INSPECTION PROCESS
(JA) 検査工程の搬送装置及び検査工程の搬送方法
Resumo
(EN)

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer apparatus and a transfer method in an inspection process which do not require the replacement of change kits and is capable of reducing handling offsets.

SOLUTION: The transfer apparatus 100 is used in an inspection process for mounting an IC package P to be inspected to a contact part 11 and inspecting its electrical characteristics. A transfer means 17 comprises both a transfer unit 15 and an XY transfer arm 17a. The transfer unit 15 comprises a suction nozzle for drawing an object to be inspected by suction; a rotation mechanism for rotating the suction nozzle on its axis; and an imaging means for imaging the object to be inspected mounted to a change kit or the contact part 11. In this case, the imaging means is connected to an image processing means which recognizes the handling offset between a target location of the object to be inspected mounted by handling and the actual location of the mounted object to be inspected.

COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

(JA)

【課題】チェンジキットを交換する必要がなく、ハンドリングオフセットを低減できる検査工程の搬送装置及び検査工程の搬送方法を得る。
【解決手段】被検査対象であるICパッケージPをコンタクト部11に載置して電気特性を検査する検査工程に用いられる検査工程の搬送装置100であって、搬送手段17が、搬送ユニット15とXY搬送アーム17aとからなり、搬送ユニット15が、被検査対象を吸着する吸着ノズルと、吸着ノズルを軸線回りに回動させる回転機構と、チェンジキット又はコンタクト部11に載置された被検査対象を撮像する撮像手段と、を有し、撮像手段が、ハンドリングによって置かれる被検査対象の目標位置と実際に置かれた被検査対象の位置とのハンドリングオフセットを認識する画像処理手段と接続されている。
【選択図】図1