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1. (WO2019028064) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
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№ de pub.: WO/2019/028064 № do pedido internacional: PCT/US2018/044671
Data de publicação: 07.02.2019 Data de depósito internacional: 31.07.2018
CIP:
H01S 3/10 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
S
DISPOSITIVOS UTILIZANDO A EMISSÃO ESTIMULADA
3
Lasers, i.e., dispositivos para a geração, a amplificação, a modulação, a demodulação ou a mudança de frequência, por meio de emissão estimulada, de ondas infravermelhas, visíveis ou ultravioletas
10
Controle da intensidade, frequência, fase, polarização ou direção da radiação emitida p. ex., comutação, abertura de porta, modulação ou demodulação
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
02
Fabricação ou tratamento de dispositivos semicondutores ou de partes dos mesmos
04
tendo o dispositivo, pelo menos, uma barreira de potencial ou uma barreira de superfície, p. ex., junção PN, camada de depleção, camada de concentração de portadores de carga
18
tendo os dispositivos corpos semicondutores constituídos de elementos do quarto grupo do Sistema periódico ou compostos AIIIBV com ou sem impurezas, p. ex., materiais de dopagem
26
Bombardeamento com onda ou radiações de partículas
263
com radiação de alta energia
268
usando radiações eletromagnéticas, p. ex., de raios laser
Requerentes:
IPG PHOTONICS CORPORATION [US/US]; 50 Old Webster Road Oxford, MA 01540, US
Inventores:
LIMANOV, Alexander; US
VON DADELSZEN, Michael; US
CORDINGLEY, James; US
SCHOENLY, Joshua; US
Mandatário:
KATESHOV, Yuri; US
Dados da prioridade:
62/539,18331.07.2017US
62/549,25423.08.2017US
Título (EN) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
(FR) APPAREIL LASER À FIBRE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE PIÈCE
Resumo:
(EN) A surface treating method and apparatus include operating a quasi-continuous wave fiber laser and pre-scan shaping the laser beam such that an instantaneous spot beam has predetermined geometrical dimensions, intensity profile, and power; operating a scanner at an optimal angular velocity and angular range to divide the pre-scan beam into a plurality of sub-beams deflected towards the surface being processed; guiding the sub-beams through a post-scan optical assembly to provide the spot beam with predetermined geometrical dimensions, power, and angular velocity and range, which are selected such that the instantaneous spot beam is dragged in a scan direction over a desired length at a desired scan velocity, which allow the treated surface to be exposed for a predetermined exposure duration and have a predetermined fluence distribution providing the treated surface with a quality comparable to that of the surface processed by an excimer laser or a burst-mode fiber laser.
(FR) L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un appareil de traitement de surface qui comprend l'exploitation d'un laser à fibre à onde quasi-continue et la mise en forme pré-balayage du faisceau laser de manière qu'un faisceau ponctuel instantané présente des dimensions géométriques, un profil d'intensité et une puissance prédéterminés ; l'exploitation d'un dispositif de balayage à une vitesse angulaire et dans une plage angulaire optimales pour diviser le faisceau pré-balayage en une pluralité de sous-faisceaux déviés vers la surface soumise au traitement ; le guidage des sous-faisceaux à travers un ensemble optique post-balayage pour conférer au faisceau ponctuel des dimensions géométriques, une puissance, et une vitesse et une plage angulaires prédéterminées, qui sont sélectionnées de manière que le faisceau ponctuel instantané soit entraîné dans une direction de balayage sur une longueur souhaitée à une vitesse de balayage souhaitée, qui permettent à la surface traitée d'être exposée pendant une durée d'exposition prédéterminée et d'avoir une distribution de fluence prédéterminée conférant à la surface traitée une qualité comparable à celle de la surface traitée par un laser à excimère ou un laser à fibre en mode rafale.
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Instituto Europeu de Patentes (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: inglês (EN)
Língua de depósito: inglês (EN)