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1. (WO2019003840) SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
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№ de pub.: WO/2019/003840 № do pedido internacional: PCT/JP2018/021733
Data de publicação: 03.01.2019 Data de depósito internacional: 06.06.2018
CIP:
H01L 21/82 (2006.01) ,H01L 21/822 (2006.01) ,H01L 27/04 (2006.01)
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
70
Fabricação ou tratamento de dispositivos consistindo em vários componentes de estado sólido ou circuitos integrados formados em ou sobre um substrato comum ou de partes específicas dos mesmos; Fabricação de dispositivos de circuitos integrados ou de partes específicas dos mesmos
77
Manufatura ou tratamento de dispositivos constituídos de uma pluralidade de componentes de estado sólido ou circuitos integrados formados dentro ou sobre um substrato comum
78
com divisão subsequente do substrato em dispositivos individuais múltiplos
82
para produzir dispositivos, p. ex.,circuitos integrados, cada um consistindo de uma pluralidade de componentes
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
70
Fabricação ou tratamento de dispositivos consistindo em vários componentes de estado sólido ou circuitos integrados formados em ou sobre um substrato comum ou de partes específicas dos mesmos; Fabricação de dispositivos de circuitos integrados ou de partes específicas dos mesmos
77
Manufatura ou tratamento de dispositivos constituídos de uma pluralidade de componentes de estado sólido ou circuitos integrados formados dentro ou sobre um substrato comum
78
com divisão subsequente do substrato em dispositivos individuais múltiplos
82
para produzir dispositivos, p. ex.,circuitos integrados, cada um consistindo de uma pluralidade de componentes
822
sendo o substrato um semicondutor usando tecnologia de silício
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
27
Dispositivos consistindo de uma pluralidade de semicondutores ou outros componentes de estado sólido, formados em ou sobre um substrato comum
02
incluindo componentes semicondutores adaptados à retificação, oscilação, amplificação, comutação e tendo pelo menos uma barreira de potencial ou de uma barreira de superfície; incluindo elementos de circuito passivo integrado com pelo menos uma barreira de potencial ou de uma barreira de superfície
04
sendo o substrato um corpo semicondutor
Requerentes:
株式会社ソシオネクスト SOCIONEXT INC. [JP/JP]; 神奈川県横浜市港北区新横浜二丁目10番23 2-10-23 Shin-Yokohama, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2220033, JP
Inventores:
岩堀 淳司 IWAHORI Junji; JP
Mandatário:
特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS; 大阪府大阪市北区堂島浜1丁目2番1号 新ダイビル23階 Shin-Daibiru Bldg. 23F, 2-1, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300004, JP
Dados da prioridade:
2017-12507727.06.2017JP
Título (EN) SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CIRCUIT INTÉGRÉ À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体集積回路装置
Resumo:
(EN) This semiconductor integrated circuit device that uses a nanowire FET has a circuit block in which a plurality of cell rows (CR1-CR3) comprising a plurality of standard cells (C) aligned in an X-direction are aligned side by side in a Y-direction. The plurality of standard cells (C) are each provided with a plurality of nanowires (NW) extending in the X-direction and disposed at a predetermined pitch (Pn) in the Y-direction. In the plurality of standard cells (C), the cell height (Hc), which is the size in the Y-direction, is M times (where M is an odd number) of half the pitch (Pn) of the nanowires (NW).
(FR) L'invention concerne un dispositif de circuit intégré à semi-conducteur qui utilise un transistor FET à nanofils comprenant un bloc de circuit dans lequel une pluralité de rangées de cellules (CR1-CR3) comprenant une pluralité de cellules standards (C) alignées dans une direction X sont alignées côte à côte dans une direction Y. La pluralité de cellules standards (C) comprennent chacune une pluralité de nanofils (NW) s'étendant dans la direction X et disposés à un pas prédéterminé (Pn) dans la direction Y. Dans la pluralité de cellules standards (C), la hauteur de cellule (Hc), qui est la taille dans la direction Y, est M fois (où M est un nombre impair) la moitié du pas (Pn) des nanofils (NW).
(JA) ナノワイヤFETを用いた半導体集積回路装置は、回路ブロックにおいて、X方向に並ぶ複数のスタンダードセル(C)からなるセル列(CR1~CR3)が、Y方向において複数、並べて配置されている。複数のスタンダードセル(C)は、X方向に延び、Y方向において所定ピッチ(Pn)で配置された複数のナノワイヤ(NW)を備える。複数のスタンダードセル(C)は、Y方向におけるサイズであるセル高さ(Hc)が、ナノワイヤ(NW)のピッチ(Pn)の半分のM倍(Mは奇数)である。
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Língua de publicação: japonês (JA)
Língua de depósito: japonês (JA)