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1. (WO2018203282) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
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№ de pub.: WO/2018/203282 № do pedido internacional: PCT/IB2018/053093
Data de publicação: 08.11.2018 Data de depósito internacional: 03.05.2018
CIP:
G01N 21/47 (2006.01)
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
N
INVESTIGAÇÃO OU ANÁLISE DOS MATERIAIS PELA DETERMINAÇÃO DE SUAS PROPRIEDADES QUÍMICAS OU FÍSICAS
21
Investigação ou análise de materiais pelo uso de meios ópticos, i.e., usando raios infravermelhos, visíveis ou ultravioletas
17
Sistemas nos quais a luz incidente é modificada em concordância com as propriedades do material investigado
47
Espalhamento, i.e., reflexão difusa
Requerentes:
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US/US]; 3M Center Post Office Box 33427 Saint Paul, MN 55133-3427, US
Inventores:
ATKINSON, Matthew R. C.; US
Mandatário:
ALLEN, Gregory D.,; US
BLANK, Colene H.,; US
HARTS, Dean M. ,; US
LEVINSON, Eric D.,; US
MAKI, Eloise J.,; US
NOWAK, Sandra K.,; US
OLSON, Peter L.,; US
RHODES, Kevin H.; US
RINGSRED, Ted K.,; US
Dados da prioridade:
62/502,00105.05.2017US
Título (EN) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
(FR) SYSTÈME DE DIFFUSOMÉTRIE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Resumo:
(EN) Microscatterometry system for generating an angularly resolved scattered light profile from the collected data.
(FR) L'invention concerne un système de microdiffusiométrie permettant de générer un profil de lumière diffusée à résolution angulaire à partir des données collectées.
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Instituto Europeu de Patentes (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: inglês (EN)
Língua de depósito: inglês (EN)