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1. (WO2018179964) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
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№ de pub.: WO/2018/179964 № do pedido internacional: PCT/JP2018/005296
Data de publicação: 04.10.2018 Data de depósito internacional: 15.02.2018
CIP:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
67
Aparelhos especialmente adaptados para manipulação de dispositivos semicondutores ou de dispositivos elétricos de estado sólido durante a fabricação ou tratamento dos mesmos; Aparelhos especialmente adaptados para manipulação de pastilhas ("wafers") durante a fabricação ou tratamento de dispositivos semicondutores ou dispositivos elétricos de estado sólido ou componentes
673
usando transportadores especialmente adaptados
B OPERAÇÕES DE PROCESSAMENTO; TRANSPORTE
65
TRANSPORTE; EMBALAGEM; ARMAZENAMENTO; MANIPULAÇÃO DE MATERIAL DELGADO OU FILAMENTAR
D
RECIPIENTES PARA ARMAZENAMENTO OU TRANSPORTE DE ARTIGOS OU MATERIAIS, p. ex., SACOS, BARRIS, GARRAFAS, CAIXAS, LATAS, CAIXA DE PAPELÃO, ENGRADADOS, TAMBORES, POTES, TANQUES, ALIMENTADORES, CONTAINERS DE TRANSPORTE; ACESSÓRIOS, FECHAMENTOS OU GUARNIÇÕES PARA OS MESMOS; ELEMENTOS DE EMBALAGEM; PACOTES
85
Recipientes, elementos de embalagens ou embalagens, especialmente adaptados para artigos ou materiais especiais
30
para artigos especialmente sensíveis o dano por choque ou pressão
Requerentes:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041, JP
Inventores:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
冨永 公徳 TOMINAGA Kiminori; JP
Mandatário:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
Dados da prioridade:
2017-06181327.03.2017JP
Título (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Resumo:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (2) that can house a substrate (W); and a gas supply member (50) that can supply a gas (G) from the outside of the container body (2) to an internal space, wherein the container body (2) is formed into a front-open box, and the gas supply member (50) is attached to a bottom surface (2f). The gas supply member (50) is configured such that function units (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) for changing the environment of the internal space to a different state are connected so as to be replaceable by being fitted. Thus, a substrate storage container that enables easy replacement of the function units for changing the environment of the internal space can be provided.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comportant : un corps de récipient (2) qui peut loger un substrat (W); et un élément d'alimentation en gaz (50) qui peut fournir un gaz (G) depuis l'extérieur du corps de récipient vers un espace interne, le corps de récipient (2) étant formé dans une boîte à ouverture avant, et l'élément d'alimentation en gaz (50) étant fixé à une surface inférieure (2f). L'élément d'alimentation en gaz (50) est configuré de telle sorte que des unités fonctionnelles (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) pour changer l'environnement de l'espace interne à un état différent sont reliées de façon à être remplaçables en étant ajustées. Ainsi, un récipient de stockage de substrat qui permet un remplacement facile des unités fonctionnelles pour changer l'environnement de l'espace interne peut être fourni.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: Japonês (JA)
Língua de depósito: Japonês (JA)