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1. (WO2018159126) SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE
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№ de pub.: WO/2018/159126 № do pedido internacional: PCT/JP2018/001143
Data de publicação: 07.09.2018 Data de depósito internacional: 17.01.2018
CIP:
H01L 27/088 (2006.01) ,H01L 21/762 (2006.01) ,H01L 27/144 (2006.01) ,H01L 27/146 (2006.01)
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
27
Dispositivos consistindo de uma pluralidade de semicondutores ou outros componentes de estado sólido, formados em ou sobre um substrato comum
02
incluindo componentes semicondutores adaptados à retificação, oscilação, amplificação, comutação e tendo pelo menos uma barreira de potencial ou de uma barreira de superfície; incluindo elementos de circuito passivo integrado com pelo menos uma barreira de potencial ou de uma barreira de superfície
04
sendo o substrato um corpo semicondutor
08
incluindo apenas componentes semicondutores de um único tipo
085
somente com componentes de efeitos de campo
088
sendo os componentes transistores de efeito de campo com porta isolada
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
70
Fabricação ou tratamento de dispositivos consistindo em vários componentes de estado sólido ou circuitos integrados formados em ou sobre um substrato comum ou de partes específicas dos mesmos; Fabricação de dispositivos de circuitos integrados ou de partes específicas dos mesmos
71
Manufatura de partes específicas de dispositivos definidos no grupo H01L21/7095
76
Criação de regiões isolantes entre os componentes
762
Regiões dielétricas
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
27
Dispositivos consistindo de uma pluralidade de semicondutores ou outros componentes de estado sólido, formados em ou sobre um substrato comum
14
incluindo componentes semicondutores sensíveis às radiações infravermelhas, à luz, à radiação eletromagnética de comprimentos de onda mais curtos ou à radiação corpuscular e adaptado, tanto para a conversão da energia destas radiações em energia elétrica, como para o controle de energia elétrica por tais radiações
144
Dispositivos controlados por radiação
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
27
Dispositivos consistindo de uma pluralidade de semicondutores ou outros componentes de estado sólido, formados em ou sobre um substrato comum
14
incluindo componentes semicondutores sensíveis às radiações infravermelhas, à luz, à radiação eletromagnética de comprimentos de onda mais curtos ou à radiação corpuscular e adaptado, tanto para a conversão da energia destas radiações em energia elétrica, como para o controle de energia elétrica por tais radiações
144
Dispositivos controlados por radiação
146
Estruturas de captadores de imagens
Requerentes:
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県厚木市旭町四丁目14番1号 4-14-1, Asahicho, Atsugi-shi, Kanagawa 2430014, JP
Inventores:
牛膓 哲雄 GOCHO, Tetsuo; JP
Mandatário:
特許業務法人つばさ国際特許事務所 TSUBASA PATENT PROFESSIONAL CORPORATION; 東京都新宿区新宿1丁目15番9号さわだビル3階 3F, Sawada Building, 15-9, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022, JP
Dados da prioridade:
2017-04070203.03.2017JP
Título (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) 半導体装置および半導体装置の製造方法並びに電子機器
Resumo:
(EN) A semiconductor device according to an embodiment of the present invention comprises: an SOI substrate on which a silicon substrate layer, a first insulating layer, and a semiconductor layer are laminated in the stated order; a first transistor provided on the semiconductor layer; a second transistor having a higher withstand voltage than does the first transistor, the second transistor being provided on the silicon substrate layer; and an element isolation film provided between the first transistor and the second transistor, the element isolation film being configured from a second insulating layer that is buried in an opening that passes through the semiconductor layer and the first insulating layer and reaches the inside of the silicon substrate layer, and a portion of the second insulating layer constituting a gate insulation film of the second transistor.
(FR) La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un dispositif à semi-conducteurs comprenant : un substrat SOI sur lequel une couche de substrat de silicium, une première couche isolante et une couche semi-conductrice sont stratifiées dans l'ordre indiqué ; un premier transistor disposé sur la couche semi-conductrice ; un second transistor ayant une tension de maintien supérieure à celle du premier transistor, le second transistor étant disposé sur la couche de substrat de silicium ; et un film d'isolation d'élément disposé entre le premier transistor et le second transistor, le film d'isolation d'élément étant configuré à partir d'une seconde couche isolante qui est enfouie dans une ouverture qui passe à travers la couche semi-conductrice et la première couche isolante et atteint l'intérieur de la couche de substrat de silicium, et une partie de la seconde couche isolante constituant un film d'isolation de grille du second transistor.
(JA) 本開示の一実施形態の半導体装置は、シリコン基板層、第1の絶縁層、および半導体層がこの順に積層されたSOI基板と、半導体層上に設けられた第1のトランジスタと、シリコン基板層上に設けられ、第1のトランジスタよりも高耐圧な第2のトランジスタと、第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間に設けられた素子分離膜とを備え、素子分離膜は、半導体層および第1の絶縁層を貫通してシリコン基板層内に達する開口に埋設された第2の絶縁層によって構成され、第2の絶縁層の一部は、第2のトランジスタのゲート絶縁膜を構成している。
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: japonês (JA)
Língua de depósito: japonês (JA)