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1. (WO2018102470) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
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№ de pub.: WO/2018/102470 № do pedido internacional: PCT/US2017/063810
Data de publicação: 07.06.2018 Data de depósito internacional: 29.11.2017
CIP:
G01N 21/47 (2006.01) ,B82Y 35/00 (2011.01)
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
N
INVESTIGAÇÃO OU ANÁLISE DOS MATERIAIS PELA DETERMINAÇÃO DE SUAS PROPRIEDADES QUÍMICAS OU FÍSICAS
21
Investigação ou análise de materiais pelo uso de meios ópticos, i.e., usando raios infravermelhos, visíveis ou ultravioletas
17
Sistemas nos quais a luz incidente é modificada em concordância com as propriedades do material investigado
47
Espalhamento, i.e., reflexão difusa
B OPERAÇÕES DE PROCESSAMENTO; TRANSPORTE
82
NANOTECNOLOGIA
Y
USOS ESPECÍFICOS OU APLICAÇÕES DE NANO ESTRUTURAS; MEDIDAS OU ANÁLISES DE NANO ESTRUTURAS; FABRICAÇÃO OU TRATAMENTO DE NANO ESTRUTURAS
35
Métodos ou aparelhos para medição ou análise de nano estruturas
Requerentes:
ANASYS INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; 325 Chapala Street Santa Barbara, CA 93101, US
Inventores:
PRATER, Craig; US
KJOLLER, Kevin; US
SHETTY, Roshan; US
Mandatário:
PEDERSEN, Brad, D.; US
CHADWICK, Eric, H.; US
BIASCO, Tye; US
BRUZZONE, Daniel, L.; US
BURGESS, Daidre, L.; US
Dados da prioridade:
62/427,67129.11.2016US
Título (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE SPECTROSCOPIE INFRAROUGE POUR MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE EN IMAGERIE CHIMIQUE
Resumo:
(EN) Methods and apparatus for performing spectroscopy from the scale of nanometers to millimeters and imaging techniques including atomic force microscopy, infrared spectroscopy, confocal microscopy, Raman spectroscopy and mass spectrometry. For infrared spectroscopy, a sample is illuminated with infrared light and the resulting sample distortion is read out with either a focused UV/visible light beam and/or AFM tip. The combination of both techniques provides a rapid and large area survey scan with the UV /visible light and a high resolution measurement with the AFM tip. The methods and apparatus also include the ability to analyze light reflected/scattered from the sample via a Raman spectrometer for complementary analysis by Raman spectroscopy.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil pour effectuer une spectroscopie à une échelle allant des nanomètres aux millimètres et des techniques d'imagerie comprenant la microscopie à force atomique, la spectroscopie infrarouge, la microscopie confocale, la spectroscopie Raman et la spectrométrie de masse. Pour la spectroscopie infrarouge, un échantillon est éclairé à l'aide d'une lumière infrarouge et la distorsion d'échantillon obtenue est lue soit avec un faisceau de lumière UV/visible focalisé, et/ou une pointe de sonde AFM. La combinaison des deux techniques permet un balayage d'observation rapide et d'une grande surface avec la lumière UV/visible et une mesure de résolution élevée avec la pointe de sonde AFM. Les procédés et l'appareil selon l'invention englobent également la capacité d'analyser la lumière réfléchie/diffusée à partir de l'échantillon par l'intermédiaire d'un spectromètre Raman pour une analyse complémentaire par spectroscopie Raman.
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Instituto Europeu de Patentes (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: inglês (EN)
Língua de depósito: inglês (EN)