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PATENTSCOPE

Pesquisa nas coleções internacionais e nacionais de patentes
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1. (WO2018003269) SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
Dados bibliográficos mais recentes no arquivo da Secretaria Internacional    Submeter observação

№ de pub.: WO/2018/003269 № do pedido internacional: PCT/JP2017/016645
Data de publicação: 04.01.2018 Data de depósito internacional: 20.04.2017
Pedido de exame (capítulo 2) depositado: 14.09.2017
CIP:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01) ,G06F 11/22 (2006.01) ,G06F 9/44 (2018.01)
Requerentes: TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventores: SUGIYAMA, Katsuaki; JP
MITSUI, Atsuo; JP
KOSUGA, Yutaka; JP
NARIKAWA, Kenichi; JP
MORITA, Shingo; JP
Mandatário: BECCHAKU, Shigehisa; Lusis Bldg. 2nd Floor, 16-1, Higashi Shinbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050021, JP
Dados da prioridade:
2016-12774228.06.2016JP
Título (EN) SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置
Resumo: front page image
(EN) Provided is a substrate inspection device capable of preventing inconveniencing a user in relation to the development of a test program. A prober 10 that executes a wafer-level system-level test comprises a development environment 34 for a test program, the development environment including: a user interface unit 27 for a user to edit the test program; and a test program engine 28 that compiles, executes, and debugs the test program.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection de substrat capable d'empêcher le désagrément d'un utilisateur par rapport au développement d'un programme d'essai. Un dispositif d'essai 10 qui exécute un essai niveau système au niveau tranche comprend un environnement de développement 34 pour un programme d'essai, l'environnement de développement comprenant : une unité d'interface utilisateur 27 permettant à un utilisateur d'éditer le programme d'essai; et un moteur de programme d'essai 28 qui compile, exécute et débogue le programme d'essai.
(JA) テストプログラムの開発に関してユーザに不便を強いるのを防止することができる基板検査装置を提供する。ウエハレベルシステムレベルテストを行うプローバ10は、ユーザがテストプログラムを編集するためのユーザインターフェース部27と、テストプログラムのコンパイル、実行及びデバッグを行うテストプログラムエンジン28とを有するテストプログラムの開発環境34を備える。
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Instituto Europeu de Patentes (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: japonês (JA)
Língua de depósito: japonês (JA)