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1. (WO2017205361) COMBINED PATCH AND DESIGN-BASED DEFECT DETECTION
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№ de pub.: WO/2017/205361 № do pedido internacional: PCT/US2017/033976
Data de publicação: 30.11.2017 Data de depósito internacional: 23.05.2017
CIP:
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
N
INVESTIGAÇÃO OU ANÁLISE DOS MATERIAIS PELA DETERMINAÇÃO DE SUAS PROPRIEDADES QUÍMICAS OU FÍSICAS
21
Investigação ou análise de materiais pelo uso de meios ópticos, i.e., usando raios infravermelhos, visíveis ou ultravioletas
84
Sistemas especialmente adaptados para aplicações especiais
88
Investigação da presença de falhas, defeitos ou contaminação
95
caracterizado pelo material ou formato do objeto a ser examinado
G FÍSICA
01
MEDIÇÃO; TESTE
N
INVESTIGAÇÃO OU ANÁLISE DOS MATERIAIS PELA DETERMINAÇÃO DE SUAS PROPRIEDADES QUÍMICAS OU FÍSICAS
21
Investigação ou análise de materiais pelo uso de meios ópticos, i.e., usando raios infravermelhos, visíveis ou ultravioletas
84
Sistemas especialmente adaptados para aplicações especiais
88
Investigação da presença de falhas, defeitos ou contaminação
Requerentes:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventores:
BRAUER, Bjorn; US
BHATTACHARYYA, Santosh; US
Mandatário:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Dados da prioridade:
15/356,79921.11.2016US
62/341,54525.05.2016US
Título (EN) COMBINED PATCH AND DESIGN-BASED DEFECT DETECTION
(FR) DÉTECTION DE DÉFAUT COMBINÉE À BASE DE PLAQUE ET DE CONCEPTION
Resumo:
(EN) Defect detection is performed by comparing a test image and a reference image with a rendered design image, which may be generated from a design file. This may occur because a comparison of the test image and another reference image was inconclusive due to noise. The results of the two comparisons with the rendered design image can indicate whether a defect is present in the test image.
(FR) Selon la présente invention, la détection de défaut est effectuée par comparaison d'une image d’essai et d'une image de référence à une image de conception rendue, qui peut être générée à partir d'un fichier de conception. Cela peut être réalisé parce qu'une comparaison de l'image d'essai et d'une autre image de référence n’était pas concluante en raison du bruit. Les résultats des deux comparaisons à l'image de conception rendue peuvent indiquer si un défaut est présent dans l'image d’essai.
front page image
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organização Regional Africana da Propriedade Intelectual (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Instituto Eurasiático de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Instituto Europeu de Patentes (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organização Africana da Propriedade Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Língua de publicação: inglês (EN)
Língua de depósito: inglês (EN)