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1. (KR1020060112824) BLOCK HEATER FOR GAS LINE CAPABLE OF REDUCING THERMAL LOSS BY THERMALLY INSULATING GAS LINE FROM OUTSIDE

Organismo : República da Coreia
Número do pedido: 1020050035474 Data do pedido: 28.04.2005
Número de publicação: 1020060112824 Data de publicação: 02.11.2006
Número da concessão: 1006744760000 Data da concessão: 30.01.2007
Tipo de publicação : B1
CIP:
H01L 21/205
H ELECTRICIDADE
01
ELEMENTOS ELÉTRICOS BÁSICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES; DISPOSITIVOS ELÉTRICOS DE ESTADO SÓLIDO NÃO INCLUÍDOS EM OUTRO LOCAL
21
Processos ou aparelhos especialmente adaptados para a manufatura ou tratamento dos dispositivos semicondutores ou de dispositivos de estado sólido ou de partes dos mesmos
02
Fabricação ou tratamento de dispositivos semicondutores ou de partes dos mesmos
04
tendo o dispositivo, pelo menos, uma barreira de potencial ou uma barreira de superfície, p. ex., junção PN, camada de depleção, camada de concentração de portadores de carga
18
tendo os dispositivos corpos semicondutores constituídos de elementos do quarto grupo do Sistema periódico ou compostos AIIIBV com ou sem impurezas, p. ex., materiais de dopagem
20
Depósito de materiais semicondutores em uma base, p. ex., crescimento epitaxial
205
usando a redução ou a decomposição de um composto gasoso produzindo um condensado sólido, i.e., um depósito químico
CPC:
C23C 16/455
H01L 21/67017
H01L 21/67248
Requerentes: THERMTECS CO., LTD.
(주)티티에스
Inventores: LIM, YOU DONG
임유동
Mandatários: 김성기
Dados da prioridade:
Título: (EN) BLOCK HEATER FOR GAS LINE CAPABLE OF REDUCING THERMAL LOSS BY THERMALLY INSULATING GAS LINE FROM OUTSIDE
(KO) 가스라인용 블록히터
Resumo: front page image
(EN)

PURPOSE: A block heater for a gas line is provided to improve a manufacturing yield of a semiconductor device by uniformly delivering temperature on an overall surface of the gas line.

CONSTITUTION: A block heater for a gas line includes a block(5), a heater(4), and a thermocouple(6). Liquid gas, which is vaporized at a predetermined temperature, flows in the gas line(3). The block is manufactured to suit to a shape of the gas line and encloses the gas line. The heater is formed inside the block and uniformly delivers constant heat to the gas line, such that the liquid gas is heated and vaporized inside the gas line. The thermocouple adjusts a melting temperature of the heater, which is arranged inside the block. The heater is made of mica. The temperature of the heater is adjusted between 20 and 250°C by the thermocouple.

© KIPO 2007


(KO) 본 발명은 반도체장치의 금속 CVD(화학기상증착법:chemical vavor deposition)공정에 있어서, 가스라인의 형상에 부합하도록 제조되어 그 내부에 운모 재질의 히터를 삽입한 알루미늄 블록을 가스라인에 장착한 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 가스라인 전체에 일정온도의 열을 균일하게 전달하여 가스라인 내 액체가스를 일정온도로 균일하게 증발시키므로 반도체 제조효율을 향상시킬 수 있다.