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1. (WO2014025637) APPARATUS AND METHODS FOR HANDLING WORKPIECES OF DIFFERENT SIZES
Dados bibliográficos mais recentes no arquivo da Secretaria Internacional   

№ de pub.:    WO/2014/025637    № do pedido internacional:    PCT/US2013/053398
Data de publicação: 13.02.2014 Data de depósito internacional: 02.08.2013
CIP:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Requerentes: NORDSON CORPORATION [US/US]; 28601 Clemens Road Westlake, OH 44145-1119 (US)
Inventores: FAZIO, James, P.; (US).
FOOTE, David, K.; (US).
GETTY, James, D.; (US)
Mandatário: ALLEN, William, R.; Wood, Herron & Evans, LLP 2700 Carew Tower 441 Vine Street Cincinnati, OH 45202-2917 (US)
Dados da prioridade:
13/567,507 06.08.2012 US
Título (EN) APPARATUS AND METHODS FOR HANDLING WORKPIECES OF DIFFERENT SIZES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR MANIPULER DES PIÈCES À TRAVAILLER DE TAILLES DIFFÉRENTES
Resumo: front page image
(EN)Apparatus and methods for plasma processing workpieces of different diameters. The apparatus includes a lift plate (52) having an outer perimeter (65), an opening (70) inside of the outer perimeter (65), and a gap (72) extending between the opening (70) and the outer perimeter (65). The lift plate (52) includes annular rims (120) of different inner diameters and that are configured to respectively support the first and second workpieces (28, 30).
(FR)L'invention porte sur un appareil et sur des procédés pour traiter au plasma des pièces à travailler de diamètres différents. L'appareil comprend une plaque de soulèvement (52) ayant une périphérie externe (65), une ouverture (70) à l'intérieur de la périphérie externe (65), et un espace (72) s'étendant entre l'ouverture (70) et la périphérie externe (65). La plaque de soulèvement (52) comprend des rebords annulaires (120) de différents diamètres internes, et qui sont configurés de façon à tenir, respectivement, les première et seconde pièces à travailler (28, 30).
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Língua de publicação: English (EN)
Língua de depósito: English (EN)