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1. (WO2019052736) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2019/052736 국제출원번호: PCT/EP2018/070627
공개일: 21.03.2019 국제출원일: 30.07.2018
IPC:
G02B 7/182 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
7
광학요소용 마운트, 조절수단, 광-밀결합
18
프리즘용; 반사경용
182
반사경용
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
26
가동 또는 변형 가능한 광학요소를 이용하여 광의 강도, 색, 위상, 편광 방향의 제어, 예. 스위칭, 게이팅, 변조하는 광학장치 또는 광학적 배치
08
광의 방향을 제어하기 위한 것
G SECTION G — 물리학
03
전자사진; 광파 이외의 파를 사용하는 유사기술; 영화; 사진; 홀로그래피(Holography)
F
사진제판법에 의한 요철화 또는 패턴화 표면의 제조, 예. 인쇄용, 반도체장치의 제조법용; 그것을 위한 재료; 그것을 위한 원료; 그것을 위한 특별히 적합한 장치
7
사진제판법, 예 사진석판법에 의한 요철화 또는 패턴화된 표면의 제조, 예. 인쇄표면의 제조 그것을 위한 재료, 예. 포토레지스트로 된 것 그것을 위하여 특히 적합한 장치
20
노광; 그것을 위한 장치
출원인:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
발명자:
HARTJES, Joachim; DE
대리인:
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart, DE
우선권 정보:
10 2017 216 498.018.09.2017DE
발명의 명칭: (EN) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉPARATION DU SYSTÈME OPTIQUE APRÈS UN CHOC
(DE) OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR REPARATUR DER OPTISCHEN ANORDNUNG NACH EINER SCHOCKBELASTUNG
요약서:
(EN) The invention relates to an optical arrangement, more particularly a lithography system, comprising: a first component (19), more particularly a supporting frame, a second component (13, 3) which is movable relative to the first component (19), more particularly a mirror (13) or a housing (3), and at least one stop (20a) having at least one stop surface (21a, b) for limiting the movement of the second component (13) relative to the first component (19). The stop (20a, b) comprises a metal foam (22) for absorbing the kinetic energy of the second component when it strikes against the stop surface (21a). The invention further relates to a method for repairing an optical arrangement of this kind after a shock load, comprising: exchanging at least one stop (20b), in which the metal foam (22) was compressed under the shock load, for a stop (20b) in which the metal foam (22) is not compressed.
(FR) L’invention concerne un système optique, en particulier un système de lithographie, comprenant : un premier composant (19), en particulier un cadre porteur, un second composant (13, 3) mobile par rapport au premier composant (19), en particulier un miroir (13) ou un boîtier (3), ainsi qu’au moins une butée (20a) présentant au moins une surface de butée (21a, b) limitant le déplacement du second composant (13) par rapport au premier composant (19). La butée (20a, b) présente une mousse métallique (22) servant à absorber l’énergie cinétique du second composant lorsqu'il bute contre la surface de butée (21a). L’invention concerne également un procédé de réparation dudit système optique après un choc, consistant à : remplacer au moins une butée (20b) dont la mousse métallique (22) a été écrasée par le choc par une butée (20b) dont la mousse métallique (22) n’est pas écrasée par le choc.
(DE) Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, insbesondere ein Lithographiesystem, umfassend: eine erste Komponente (19), insbesondere einen Tragrahmen, eine relativ zur ersten Komponente (19) bewegliche zweite Komponente (13, 3), insbesondere einen Spiegel (13) oder ein Gehäuse (3), sowie mindestens einen Anschlag (20a) mit mindestens einer Anschlagfläche (21a, b) zur Begrenzung der Bewegung der zweiten Komponente (13) relativ zur ersten Komponente (19). Der Anschlag (20a, b) weist zur Absorption der kinetischen Energie der zweiten Komponente beim Anschlagen gegen die Anschlagfläche (21a) einen Metallschaum (22) auf. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Reparatur einer solchen optischen Anordnung nach einer Schockbelastung, umfassend: Austauschen mindestens eines Anschlags (20b), bei dem der Metallschaum (22) bei der Schockbelastung gestaucht wurde, gegen einen Anschlag (20b), bei dem der Metallschaum (22) nicht gestaucht ist.
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공개언어: 독일어 (DE)
출원언어: 독일어 (DE)