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1. (WO2019045204) BOAT DEVICE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2019/045204 국제출원번호: PCT/KR2018/001323
공개일: 07.03.2019 국제출원일: 31.01.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 31/18 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
67
제조 또는 처리중의 반도체 또는 전기 고체 장치 취급에 특별히 적용되는 장치; 반도체 또는 전기 고체 장치 혹은 구성부품의 제조 또는 처리중의 웨이퍼 취급에 특별히 적용되는 장치
673
특히 적합한 캐리어를 사용하는 것
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
31
적외선 복사, 가시광, 단파장의 전자기파, 또는 입자 복사에 감응하는 반도체 장치로, 이들 복사에 의한 에너지를 전기적 에너지로 변환하거나 이들 복사에 의해 전기적 에너지를 제어하는 것에 특별히 적용되는 것; 그들 장치 또는 그 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장치; 그들 세부
18
이러한 장치 또는 그 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장치
출원인:
HANWHA CORPORATION [KR/KR]; 86, Cheonggyecheon-ro Jung-gu Seoul 04541, KR
발명자:
LEE, Hyun Ho; KR
KIM, Young Gi; KR
PARK, Sang Tae; KR
대리인:
TW INTERNATIONAL PATENT AND LAWFIRM; 13F 114, Yeoksam-ro Gangnam-gu Seoul 06252, KR
우선권 정보:
10-2017-011203901.09.2017KR
발명의 명칭: (EN) BOAT DEVICE
(FR) HYDROGLISSEUR
요약서:
(EN) The present invention discloses a boat device, comprising: a plate portion including mutually adjacent first and second plates, where a wafer is attached and detached in an empty gap between each plate; and a pin provided at each plate to support an outside of the wafer; wherein the pin is provided with at least three pins including a first pin, a second pin and a third pin relative to one wafer.
(FR) La présente invention concerne un hydroglisseur, comprenant : une partie plaque comprenant des première et seconde plaques mutuellement adjacentes, une tranche étant fixée et détachée dans un espace vide entre chaque plaque ; et une broche disposée au niveau de chaque plaque pour supporter un extérieur de la tranche ; la broche comprenant au moins trois broches comprenant une première broche, une seconde broche et une troisième broche par rapport à une tranche.
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지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)