이 애플리케이션의 일부 콘텐츠는 현재 사용할 수 없습니다.
이 상황이 계속되면 다음 주소로 문의하십시오피드백 및 연락
1. (WO2019043945) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보정보 제출

공개번호: WO/2019/043945 국제출원번호: PCT/JP2017/031788
공개일: 07.03.2019 국제출원일: 04.09.2017
IPC:
H01J 37/141 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
J
전자관 또는 방전램프
37
방전에 노출되는(exposed) 물체 또는 재료를 도입하는 설비가 있는 전자관, 예. 그 시험 또는 처리를 위한 것
02
세부
04
전극장치 및 방전을 발생하고 또는 제어하기 위한 관련부품, 예. 전자광학장치, 이온광학장치
10
렌즈
14
자기적인 것
141
전자렌즈
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
J
전자관 또는 방전램프
37
방전에 노출되는(exposed) 물체 또는 재료를 도입하는 설비가 있는 전자관, 예. 그 시험 또는 처리를 위한 것
30
물체의 국부적 처리에 한정된 전자빔 또는 이온 빔관
317
물체의 특성을 바꾸기 위한 것 또는 그 위에 박층을 형성하기 위한 것, 예. 이온주입
출원인:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
발명자:
平野 遼 HIRANO Ryo; JP
野間口 恒典 NOMAGUCHI Tsunenori; JP
神谷 知里 KAMIYA Chisato; JP
片根 純一 KATANE Junichi; JP
대리인:
特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES; 東京都港区愛宕二丁目5-1 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
우선권 정보:
발명의 명칭: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
요약서:
(EN) The present invention achieves, with a simple configuration, a complex charged particle beam device that can reduce leakage magnet-field from a magnetic pole piece constituting an objective lens of a SEM. This charged particle beam device: acquires an ion-beam observation image while causing current to flow in a first coil constituting the objective lens; executes, for a plurality of current values, operations for reducing image displacement of the ion-beam image by causing current to flow in a second coil; and determines the current to be caused to flow in the second coil based on differences between the operations.
(FR) La présente invention permet d'obtenir, au moyen d'une configuration simple, un dispositif à faisceau de particules chargées complexe pouvant réduire le champ magnétique de fuite d'une pièce polaire magnétique constituant un objectif d'un MEB. Ce dispositif à faisceau de particules chargées : acquiert une image d'observation de faisceau d'ions tout en amenant un courant à circuler dans une première bobine constituant l'objectif ; exécute, pour une pluralité de valeurs de courant, des opérations de réduction de déplacement d'image de l'image de faisceau d'ions en amenant un courant à circuler dans une seconde bobine ; et détermine le courant devant être amené à circuler dans la seconde bobine en fonction de différences entre les opérations.
(JA) 本発明は、SEMの対物レンズを形成する磁極片からの漏れ磁場を抑制することができる複合荷電粒子線装置を、簡易な構造により実現するものである。本発明に係る荷電粒子線装置は、対物レンズを構成する第1コイルに電流を流しながらイオンビーム観察像を取得し、第2コイルに電流を流すことによりその像ずれを減少させる動作を、複数の電流値で実施し、前記動作間の差分に基づき前記第2コイルに流す電流を決定する(図6参照)。
front page image
지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
아프리카 지식재산권기구(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)