이 애플리케이션의 일부 콘텐츠는 현재 사용할 수 없습니다.
이 상황이 계속되면 다음 주소로 문의하십시오피드백 및 연락
1. (WO2019032753) MATERIALS, COMPONENT, AND METHODS FOR USE WITH EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION IN LITHOGRAPHY AND OTHER APPLICATIONS
국제사무국에 기록된 최신 서지정보정보 제출

공개번호: WO/2019/032753 국제출원번호: PCT/US2018/045878
공개일: 14.02.2019 국제출원일: 08.08.2018
IPC:
G02B 1/10 (2015.01) ,G02B 5/08 (2006.01) ,G03F 1/24 (2012.01)
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
1
사용물질에 특징이 있는 광학요소
10
광학요소에의 도포 또는 표면처리에 의해 만들어진 코팅
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
5
렌즈 이외 광학요소
08
반사경
G SECTION G — 물리학
03
전자사진; 광파 이외의 파를 사용하는 유사기술; 영화; 사진; 홀로그래피(Holography)
F
사진제판법에 의한 요철화 또는 패턴화 표면의 제조, 예. 인쇄용, 반도체장치의 제조법용; 그것을 위한 재료; 그것을 위한 원료; 그것을 위한 특별히 적합한 장치
1
질감이 있거나 무늬가 있는 표면의 사진제판법 제품을 위한 원화, 예. 마스크, 포토-마스크 또는 레티클(reticle); 마스크 블랭크(mask blank) 또는 그 투과필름(pellicle); 그를 위해 특히 적용된 용기; 그 준비과정
22
100 nm 또는 그 이하 파장의 방사에 의해 이미지화하기 위한 마스크 또는 마스크 블랭크, 예. X-ray 마스크, 극자외선 마스크; 그 준비과정
24
반사 마스크; 그 준비과정
출원인:
JAISWAL, Supriya [GB/US]; US
발명자:
JAISWAL, Supriya; US
대리인:
KOLEGRAFF, William, J.; US
우선권 정보:
62/542,73408.08.2017US
발명의 명칭: (EN) MATERIALS, COMPONENT, AND METHODS FOR USE WITH EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION IN LITHOGRAPHY AND OTHER APPLICATIONS
(FR) MATÉRIAUX, COMPOSANT, ET PROCÉDÉS D'UTILISATION AVEC UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME EN LITHOGRAPHIE ET DANS D'AUTRES APPLICATIONS
요약서:
(EN) New classes of materials and associated components for use in devices and systems operating at ultraviolet (UV), extreme ultraviolet (EUV), and/or soft X-ray wavelengths are described. This invention relates to increasing the bandwidth and general performance of EUV reflective and transmissive materials. Such a material structure and combination may be used to make components such as mirrors, lenses or other optics, panels, light sources, photomasks, photoresists, or other components for use in applications such as lithography, wafer patterning, astronomical and space applications, biomedical applications, or other applications.
(FR) L'invention concerne de nouvelles classes de matériaux et des composants associés destinés à être utilisés dans des dispositifs et des systèmes fonctionnant à des longueurs d'ondes de l'ultraviolet (UV), de l'ultraviolet extrême (EUV) et/ou du rayon X doux. La présente invention concerne l'augmentation de la largeur de bande et la performance générale de matériaux réfléchissants et transmissifs de l'ultraviolet extrême EUV. Une telle structure et combinaison de matériaux peut être utilisée pour fabriquer des composants tels que des miroirs, des lentilles ou d'autres éléments optiques, des panneaux, des sources lumineuses, des masques photographiques, des résines photosensibles ou d'autres composants destinés à être utilisés dans des applications telles que la lithographie, le modelage de contours sur plaquettes, des applications astronomiques et spatiales, des applications biomédicales, ou d'autres applications.
front page image
지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
아프리카 지식재산권기구(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)