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1. (WO2019009391) OPTICAL MODULE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2019/009391 국제출원번호: PCT/JP2018/025633
공개일: 10.01.2019 국제출원일: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01) ,G02B 7/198 (2006.01)
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
26
가동 또는 변형 가능한 광학요소를 이용하여 광의 강도, 색, 위상, 편광 방향의 제어, 예. 스위칭, 게이팅, 변조하는 광학장치 또는 광학적 배치
G SECTION G — 물리학
01
측정; 시험
B
길이, 두께 또는 유사한 직선치의 측정; 각도의 측정; 면적의 측정; 표면 또는 윤곽의 불규칙성 측정
9
이 서브그룹에 기술되고 또한 광학적 측정수단의 사용에 의하여 특정 지워진 계기
02
간섭계
G SECTION G — 물리학
01
측정; 시험
J
적외선, 가시광선 또는 자외선의 강도, 속도, 스펙트럼, 편광 또는 위상 또는 펄스의 측정; 색의 측정; 방사온도측정
3
분광측정; 분광광도측정; 모노크로미터 색의 측정
28
스펙트럼의 조사
45
간섭 분광장치
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
7
광학요소용 마운트, 조절수단, 광-밀결합
18
프리즘용; 반사경용
182
반사경용
198
반사경 지지에 관련된 반사경을 조절하는 수단을 가진 것
출원인:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
발명자:
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
대리인:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
우선권 정보:
2017-13308906.07.2017JP
발명의 명칭: (EN) OPTICAL MODULE
(FR) MODULE OPTIQUE
(JA) 光モジュール
요약서:
(EN) This optical module is provided with a mirror unit and a beam splitter unit. The mirror unit is provided with: a base having a main surface; a movable mirror; a first fixed mirror; and a drive unit. The beam splitter unit, the movable mirror, and the first fixed mirror form a first interference optical system for measurement light. A mirror surface of the movable mirror and a mirror surface of the first fixed mirror extend in a plane parallel to the main surface, and face one side in a first direction orthogonal to the main surface. The movable mirror, the drive unit, and at least a portion of the optical path between the beam splitter unit and the first fixed mirror are disposed in an airtight space.
(FR) La présente invention concerne un module optique comportant une unité de miroir et une unité de diviseur de faisceau. L'unité de miroir comporte : une base présentant une surface principale ; un miroir mobile ; un premier miroir fixe ; et une unité d'entraînement. L'unité de diviseur de faisceau, le miroir mobile et le premier miroir fixe forment un premier système optique d 'interférence destiné à la lumière de mesure. Une surface de miroir du miroir mobile et une surface de miroir du premier miroir fixe s'étendent dans un plan parallèle à la surface principale et se trouvent en regard dans une première direction orthogonale à la surface principale. Le miroir mobile, l'unité d'entraînement et au moins une partie du chemin optique entre l'unité de diviseur de faisceau et le premier miroir fixe se trouvent dans un espace étanche à l'air.
(JA) 光モジュールは、ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備える。ミラーユニットは、主面を有するベースと、可動ミラーと、第1固定ミラーと、駆動部と、を有する。ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第1固定ミラーと共に測定光について第1干渉光学系を構成している。可動ミラーのミラー面及び第1固定ミラーのミラー面は、主面に平行な平面に沿っており、主面に垂直な第1方向における一方の側に向いている。可動ミラー及び駆動部、並びに、ビームスプリッタユニットと第1固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部は、気密空間に配置されている。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)