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1. (WO2019009065) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2019/009065 국제출원번호: PCT/JP2018/023311
공개일: 10.01.2019 국제출원일: 19.06.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 43/02 (2006.01) ,B65D 53/02 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
67
제조 또는 처리중의 반도체 또는 전기 고체 장치 취급에 특별히 적용되는 장치; 반도체 또는 전기 고체 장치 혹은 구성부품의 제조 또는 처리중의 웨이퍼 취급에 특별히 적용되는 장치
673
특히 적합한 캐리어를 사용하는 것
B SECTION B — 처리조작; 운수
65
운반; 포장; 저장; 얇거나 단섬유 부재의 취급
D
물품 또는 재료의 보관 또는 수송용의 용기, 예. 장류(Bags), 나무통, 병, 상자, 캔류(Cans), 마분지 상자(Carton), 나무상자(Crate), 드럼, 호리병(Jars), 탱크, 호퍼(Hopper), 운송 콘테이너, 부속품, 폐개구(Closures) 또는 그 부착; 포장 요소; 포장체
43
강성 또는 준강성 용기의 뚜껑 또는 커버
02
제거 가능한 뚜껑 또는 커버
B SECTION B — 처리조작; 운수
65
운반; 포장; 저장; 얇거나 단섬유 부재의 취급
D
물품 또는 재료의 보관 또는 수송용의 용기, 예. 장류(Bags), 나무통, 병, 상자, 캔류(Cans), 마분지 상자(Carton), 나무상자(Crate), 드럼, 호리병(Jars), 탱크, 호퍼(Hopper), 운송 콘테이너, 부속품, 폐개구(Closures) 또는 그 부착; 포장 요소; 포장체
53
밀봉 또는 패킹(packing) 요소 액체 또는 가소성(可塑性) 재료에 의해서 형성되는 밀봉재
02
환(collar) 또는 링(ring)
B SECTION B — 처리조작; 운수
65
운반; 포장; 저장; 얇거나 단섬유 부재의 취급
D
물품 또는 재료의 보관 또는 수송용의 용기, 예. 장류(Bags), 나무통, 병, 상자, 캔류(Cans), 마분지 상자(Carton), 나무상자(Crate), 드럼, 호리병(Jars), 탱크, 호퍼(Hopper), 운송 콘테이너, 부속품, 폐개구(Closures) 또는 그 부착; 포장 요소; 포장체
85
특정 물품 또는 재료에 특히 적용되는 용기, 포장 요소 또는 포장체
86
전기 부품용
출원인:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
발명자:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
대리인:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
우선권 정보:
2017-13370807.07.2017JP
발명의 명칭: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
요약서:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (10) in which a substrate (W) is stored; a lid member (20) which closes an opening (11) of the container body (10); a lock mechanism with which the lid member (20) is fitted and which is locked on a portion to be locked of the container body (10); and a packing (P) interposed between the container body (10) and the lid member (20). The packing (P) includes a first packing (30) attached to the container body (10), and a second packing (40) attached to the lid member (20). The first packing (30) and the second packing (40), when viewed from a direction orthogonal to a closing direction (H) of the lid member (20), is positioned on the inside of the container body (10) with respect to the position of the portion to be locked. In this way, it is possible to improve sealing property with respect to internal negative pressure and positive pressure, and to provide a substrate storage container with improved internal cleanliness.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comprenant : un corps de récipient (10) dans lequel un substrat (W) est stocké; un élément de couvercle (20) qui renferme une ouverture (11) du corps de récipient (10); un mécanisme de verrouillage avec lequel l'élément de couvercle (20) est ajusté et qui est verrouillé sur une partie à verrouiller du corps de récipient (10); et une garniture (P) interposée entre le corps de récipient (10) et l'élément de couvercle (20). La garniture (P) comprend une première garniture (30) fixée au corps de récipient (10), et une seconde garniture (40) fixée à l'élément de couvercle (20). La première garniture (30) et la seconde garniture (40), lorsqu'elles sont vues depuis une direction orthogonale à une direction de fermeture (H) de l'élément de couvercle (20), sont positionnées sur l'intérieur du corps de récipient (10) par rapport à la position de la partie à verrouiller. De cette manière, il est possible d'améliorer la propriété d'étanchéité vis-à-vis de la pression négative interne et de la pression positive, et de fournir un récipient de stockage de substrat ayant une propreté interne améliorée.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納する容器本体(10)と、容器本体(10)の開口(11)を閉止する蓋体(20)と、蓋体(20)に設けられ、容器本体(10)の被係止部に係止される施錠機構と、容器本体(10)及び蓋体(20)との間に介在されるパッキン(P)と、を備える基板収納容器(1)であって、パッキン(P)は、容器本体(10)に取り付けられる第1パッキン(30)と、蓋体(20)に取り付けられる第2パッキン(40)と、を含み、第1パッキン(30)及び第2パッキン(40)は、蓋体(20)の閉止方向(H)に直交する方向から見たとき、被係止部の位置よりも、容器本体(10)の内側に位置するものである。これにより、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。
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공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)